نگهداری لامپهای مادون قرمز در نزدیکی مواد شیمیایی فرار
گرم کردن ویفرهای سیلیکونی در حین تمیزکاری شیمیایی، کاری بسیار دقیق است. برای این کار به انرژی دقیق مادون قرمز نیاز است؛ اما این کار درست در کنار حلالهای قابل اشتعال انجام میشود. این موضوع میتواند منجر به فاجعه شود؛ یک جرقه کوچک یا ترک کوچکی در لوله کوارتز، میتواند باعث ایجاد مشکلات جدی شود.
ما چنین ریسکهایی را نمیپذیریم. به جای استفاده از طرحهای ساده، همه چیز را در پوششهای ویژه قرار میدهیم.
راز بستهبندی مناسب
میتوانید آن را مانند یک پوسته محافظ در نظر بگیرید. لامپهای مادون قرمز را در پوششهای ویژه کوارتز یا سفیر قرار میدهیم؛ این پوششها نقش دیواری بین عنصر گرمایشی و گازهای شیمیایی خطرناک را ایفا میکنند.
از روش بستهبندی در فشار خلا و در دماهای بالا استفاده میکنیم تا از ورود گازهای قابل اشتعال جلوگیری شود. اگر لولهها دچار مشکل شوند، پوششها از تماس فیلامنت با هوای اطراف جلوگیری میکنند.
همچنین، از آلیاژهای ویژه برای بستهبندی استفاده میکنیم تا شیشه در برابر فشارهای ناشی از چرخههای مداوم تغییر دما، آسیب نبیند.
مقابله با گرما و خوردگی
اگر بستهبندی لامپها دچار مشکل شود، پایداری لامپها نیز از بین میرود. برای جلوگیری از این موضوع، از روکشهای مقاوم در برابر مواد شیمیایی بر روی پوششها استفاده میکنیم.
چرا؟ چون مواد خورنده میتوانند کوارتز را خراب کنند؛ این امر منجر به ایجاد ترکهای کوچک میشود. این ترکها باعث خرابی زودهنگام لامپ میشوند؛ هیچ کس نمیخواهد لامپها را در میانه چرخه کاری تعویض کند.
نکته مهم این است که پوششها گرما را در خود نگه میدارند؛ بنابراین لامپها دمای بالاتری دارند. برای حل این مشکل، معمولاً توان لامپها را کمی کاهش میدهیم یا جریان هوای خنککننده را افزایش میدهیم. این کار از رسیدن فیلامنت به نقطه شکست جلوگیری میکند.
کاربرد لامپها در مناطق خطرناک
مشکل اصلی در سیمکشی لامپها است؛ نمیتوانید آنها را به صورت ساده وصل کنید.
ما از کابلهای مقاوم در برابر انفجار، پوششهای مخصوص و ساختارهای زمیندار برای جلوگیری از ایجاد الکتریسیته ساکن استفاده میکنیم. این کار باعث میشود الکتریسیته در محدودههای مشخصی باقی بماند.
در واقع، ما چیزی را که میتواند منبع خطرناکی برای اشتعال باشد، به ابزاری قابل اعتماد تبدیل میکنیم. شما میتوانید دمای لازم برای گرم کردن ویفرها را داشته باشید، و مطمئن باشید که تجهیزات شما منفجر نخواهد شد.