در کارخانههای تولید، ویفرهایی که پس از شستشوی نهایی خارج میشوند، حتی یک میکرومتر از آب روی سطحشان را نمیتوانند تحمل کنند. فرهای همرفتی، زمان خود را صرف کنترل تغییرات دما در سطح ویفر میکنند؛ این کار باعث کاهش بازدهی تولید میشود. روش خشککردن با امواج مادون قرمز، این مشکل را برطرف میکند.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: امواج مادون قرمز به طور مستقیم به آب برخورد کرده و سطح ویفر را گرم میکنند، بدون اینکه گرما وارد هوای داخل دستگاه شود. این روش باعث ایجاد یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد میشود؛ در حالی که روشهای همرفتی با مشکلاتی در کنترل دما مواجه هستند. امواج مادون قرمز کوتاهامواج، انرژی سریع و کنترلشدهای را فراهم میکنند تا بتوان از پروفیلهای مناسب برای فرآیندهای خشککردن استفاده کرد. امواج مادون قرمز متوسطامواج نیز در مواقعی که نیاز به دمای بالاتری وجود دارد، مفید هستند.
همچنین، این سیستم برای محیطهای تمیزسازی شده، کلاس ۱ تا ۱۰۰، ساخته شده است؛ یعنی هیچ ذرهای تولید نمیشود، اجزای کوارتزی یا هالوژنی استفاده شدهاند، و طراحی این سیستم باعث جلوگیری از خروج هوای گرم از سیستم میشود. تکرارپذیری این سیستم نیز بسیار بالا است؛ تفاوت دما بین دو روش تولید، کمتر از ۰.۳ درجه سانتیگراد است.
چرا این سیستم برای فرآیندهای لیتوگرافی و خشککردن مایعات مناسب است: در فرآیندهای لیتوگرافی و خشککردن مایعات، موضوع اصلی، زمان انجام فرآیند و کنترل نقصهاست. روش خشککردن با امواج مادون قرمز، سرعت خشککردن ویفرها را افزایش میدهد، انرژی کمتری مصرف میشود، و بازه دمایی فرآیند نیز گستردهتر میشود. این روش باعث ایجاد عملکرد یکنواخت در فرآیندهای خشککردن، کاهش تعداد تولیدات بازنشانی، و پایداری دمایی در تمام محصولات میشود.
مهمتر از همه، این سیستم برای کار ۲۴ ساعته در طول سال ساخته شده است؛ عمر اجزای آن طولانی است، و تکرارپذیری آن نیز پس از تعمیرات نیز حفظ میشود. هیچ توقف غیرمنتظرهای وجود نخواهد داشت.
جزئیات عملی که باید در نظر گرفته شوند: خشککردن با امواج مادون قرمز را میتوان در خطوط تولید نصب کرد، اما باید بار حرارتی لازم را در نظر گرفت و انتقال گرما را به خوبی برنامهریزی کرد. ابعاد این سیستم کوچک است، اما نباید از دفع حرارت غفلت کرد؛ شرایط محیطی و توزیع انرژی میتوانند اگر به خوبی برنامهریزی نشوند، مشکلاتی ایجاد کنند.
ما با توجه به برند تجهیزات شما و محدودیتهای محیط تمیزسازی، اندازه گرمایشکن و سیستم کنترل را برای قطر ویفر و سرعت تولید شما تنظیم میکنیم. انتظار داشته باشید که زمان کوتاهی برای تنظیم سرعت گرمایش و زمان خشککردن لازم باشد.