چرا گرمایش مادون قرمز بهتر از استفاده از هوای داغ در فرآیندهای تولید است؟
بیایید درباره خشک کردن ویفرها صحبت کنیم. اکثر روشهای قدیمی برای خشک کردن ویفرها، از گردش هوای داغ استفاده میکنند؛ یعنی هوا گرم میشود، سپس آن هوا ویفرها را گرم میکند، و باید منتظر بمانیم تا ویفرها کاملاً خشک شوند. این روش بسیار آهسته است.
در محیطهای نیمههادی با فشار بالا، این انتظارات مشکلات زیادی ایجاد میکنند؛ ویفرها در محفظه خشککن باقی میمانند و رطوبت همچنان روی آنها باقی است، در حالی که فرآیند تولید به آرامی پیش میرود. این روش، هدررفت زمان بسیار زیادی است.
راه میانبر برای سرعت بخشیدن به فرآیند
گرمایش مادون قرمز، روش متفاوتی دارد؛ به جای استفاده از هوا برای انتقال گرما، این روش از تابش الکترومغناطیسی برای گرم کردن سطح ویفرها استفاده میکند.
تصور کنید در یک روز سرد، در معرض نور خورشید ایستادهاید؛ شما بلافاصله گرما را احساس میکنید، حتی اگر هوای اطراف شما بسیار سرد باشد. این همان گرمای تابشی است؛ نیازی نیست منتظر باشید تا هوای گرم اتاق را پر کند؛ شما مستقیماً به مولکولهای سطحی ویفرها اثر میگذارید. این روش بسیار سریع است؛ و این موضوع تمام چیزها را برای فرآیند تولید تغییر میدهد.
صرفهجویی در فضا و افزایش سرعت
وقتی از روش گرمایش مادون قرمز استفاده میکنید، فضای مورد نیاز کاهش مییابد. اجاقهای هوای داغ، حجم زیادی از هوا و لولههای بزرگی برای حفظ دمای یکنواخت نیاز دارند؛ اما لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ میتوان آنها را در الگوهای خاصی قرار داد. در نتیجه، میتوانید بازدهی بسیار بالاتری داشته باشید، بدون اینکه نیاز به فضای بیشتری داشته باشید. ما شاهد کاهش زمان لازم برای خشک کردن ویفرها از دقایق به چند ثانیه بودهایم.
معایب
البته، گرمایش مادون قرمز راه حل جادویی برای همه مشکلات نیست؛ این روش بسیار قدرتمند است، اما گاهی اوقات بیش از حد قدرتمند است.
لامپهای با شدت بالا، گرمای زیادی در یک منطقه کوچک ایجاد میکنند؛ اگر ویفرها به درستی قرار نگیرند، نقاط گرم یا تنش حرارتی روی سیلیکون ایجاد خواهد شد. هوای داغ کمی بخشندهتر است؛ اما گرمایش مادون قرمز چنین نیست. باید از کنترلکنندههای PID و سنسورهای فاصله برای کنترل دقیق استفاده کنید؛ در غیر این صورت، سطح ویفرها خراب خواهد شد.
تغییر روش تولید
اگر میخواهید تجهیزات تولید خود را بهبود بخشید، گرمایش مادون قرمز راه حل مناسبی است؛ میتوانید عناصر گرمایشی قدیمی را جایگزین کنید و از سیستمهای پیچیده مربوط به گردش هوا استفاده نکنید.
علاوه بر این، دیگر نیازی نیست انرژی زیادی را صرف گرم کردن کل فضای محفظه کنید؛ فقط بخشی از محفظه که واقعاً نیاز به گرما دارد، گرم خواهد شد. ساده است.