
حفظ ایمنی تجهیزات، بدون از دست دادن گرما
اگر شما صاحب یک اتاق تمیزکاری مربوط به نیمههادیها هستید، میدانید که چه وضعیتی پیش میآید. در این اتاقها، مواد شیمیایی برای تمیزکاری استفاده میشود؛ این مواد قابل اشتعال هستند. بنابراین، استفاده از لامپهای معمولی در این مناطق، خطرناک است. حتی یک جرقه کوچک یا تماس سطح داغ با بخارات شیمیایی، میتواند منجر به فاجعه شود.
ما راه بهتری پیدا کردیم. به جای استفاده از لامپهای معمولی، کل دستگاه را در یک محافظ ویژه و ضدنفوذ قرار دادیم.
چگونه از ایمنی تجهیزات مراقبت میکنیم؟
ما فقط لامپ را در پلاستیک نپیچیدیم؛ چون این روش کارساز نیست. ما از سپرهای دولایه استفاده کردیم. عنصر گرمایشی کوارتزی درون یک پوشش محکم قرار دارد؛ این پوشش میتواند در برابر مواد شیمیایی مقاومت کند.
راز واقعی در انتهای دستگاه نهفته است؛ ما از فنرهای با دمای بالا برای بسته کردن همه چیز استفاده کردیم. این کار مانع از ورود ترکیبات آلی فرار به سمت ترمینالهای الکتریکی میشود. با جدا نگه داشتن عنصر گرمایشی از هوای اطراف، منبع احتراق را از بین بردهایم؛ در نتیجه میتوانید با آرامش بیشتری کار کنید.
مقابله با گرما
ایمنی مهم است، اما تجهیزات باید بتوانند واقعاً ویفرها را گرم کنند.
ما از پرتوهای مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم تا انرژی مستقیماً از میان مواد شیمیایی یا سطح ویفر عبور کند. اما مشکل اینجاست که این نوع انرژی فشار زیادی بر روی سپرها وارد میکند.
ما فنرهایی را انتخاب کردیم که بتوانند در برابر گرما و سرما مقاومت کنند. اگر سپرها خراب شوند، لامپ نیز از کار میافتد. بنابراین، باید هر بار که تعمیرات پیشگیرانه انجام میدهید، این سپرها را بررسی کنید. هیچ راه میانبری وجود ندارد؛ باید اطمینان حاصل کنید که سپرها کاملاً ضدنفوذ هستند.
جایگزینی لامپها
خبر خوب این است که این لامپها برای جایگزینی ساده طراحی شدهاند؛ نیازی نیست کل سیستم را دوباره ساختاربندی کنید. ما از سیمهای ضدانفجار و کانکتورهای محکم برای جلوگیری از ایجاد جرقه استفاده کردهایم.
نکته مهمی که باید در نظر داشته باشید این است که این لایههای حفاظتی کمی مانع از انتقال انرژی میشوند؛ ممکن است کمی کاهش در کارایی لامپ مشاهده شود. برای رفع این مشکل، ممکن است لازم باشد لامپها را کمی نزدیکتر قرار دهید یا توان لامپها را افزایش دهید تا زمان گرم شدن ویفرها در حد مطلوب باقی بماند. این یک تعادل کوچک است؛ شما کمی از توان لامپ را از دست میدهید، اما در عوض، اطمینان دارید که تجهیزات شما خطرناک نیستند.