¿Por qué el calentamiento por infrarrojos es mejor que el aire caliente en las fábricas de semiconductores?
Hablemos sobre el secado de las obleas. La mayoría de los sistemas tradicionales dependen de la circulación de aire caliente. Se calienta el aire, y este a su vez calienta las obleas; luego hay que esperar. Es un proceso lento.
En un entorno de semiconductores de alta presión, esa espera representa una gran pérdida de tiempo. Las obleas permanecen en la cámara de secado, con la humedad adherida a ellas, mientras la línea de producción avanza muy lentamente. Es una enorme pérdida de tiempo.
La solución rápida
El calentamiento por infrarrojos funciona de manera diferente. En lugar de depender del aire para transmitir el calor, los rayos infrarrojos envían radiación electromagnética directamente al sustrato.
Imagínese estar bajo el sol en un día frío: siente el calor de inmediato, incluso si el aire a su alrededor está helado. Eso es calor radiante. No hay necesidad de esperar a que el aire caliente toda la habitación; se actúa directamente sobre las moléculas de la superficie. Es rápido. Muy rápido. Y eso cambia completamente todo en el proceso de producción.
Ahorro de espacio y mayor eficiencia
Al utilizar el calentamiento por infrarrojos, se reduce el espacio necesario. Los hornos de aire caliente son voluminosos y requieren grandes cantidades de aire y conductos complejos para mantener una temperatura uniforme.
Las lámparas de infrarrojos son diferentes. Se pueden colocar de forma estratégica, lo que permite lograr una mayor eficiencia sin necesidad de ocupar más espacio en la sala limpia. Hemos visto cómo los tiempos de secado disminuyen de minutos a solo segundos.
Las desventajas
Claro, el calentamiento por infrarrojos no es la solución mágica para todo. Es poderoso… pero a veces demasiado. Las lámparas de alta intensidad generan mucho calor en un área muy pequeña. Si las obleas no están bien alineadas, se generarán puntos calientes o estrés térmico en el silicio. El aire caliente es más tolerante; el calentamiento por infrarrojos, no. Hay que tener mucho cuidado con los controladores PID y los sensores de distancia, de lo contrario, se dañará el sustrato.
Cómo hacer el cambio
Si desea mejorar sus instalaciones en la fábrica, el calentamiento por infrarrojos es la opción ideal. Puede reemplazar los elementos de calefacción y dejar de lado la compleja lógica relacionada con el flujo de aire. Además, dejará de perder energía calentando toda la cámara. Solo se calienta la parte que realmente lo necesita. Simple.