Die richtige Nutzung der Infrarotheizung in einer intelligenten Fertigungsanlage Der Aufbau einer intelligenten Fertigungsanlage bedeutet nicht...

Sicherheitssicherung von IR-Lampen in der Nähe flüchtiger Chemikalien Das Erhitzen von Siliziumwafern während der chemischen Reinigung erfordert ein...

Wenn man MEMS-Sensorwafer nach der chemischen Reinigung trocknen lässt, ist viel Wärme erforderlich. Doch das Problem ist: Wenn man das direkt neben...

Vermeiden Sie, dass Ihre Lampen zum Explodieren neigen Bei der Aushärtung von Wafern ist es entscheidend, die Temperatur genau richtig...

Korrekte Anwendung der Wärmekameras in Ihren Wafer-Tools Wenn Sie versuchen, zu einer intelligenteren Fertigungsmethode überzugehen, haben Sie wohl...

Einführung Wir haben diese Lampe zur Trocknung von Wafern entwickelt, um mit den großen Marken aus den USA und Japan konkurrieren zu können – mit...

In der Fertigungshalle ist eine Temperaturabweichung von 0,1 °C während des Weichbrennvorgangs oder des Härtbrennvorgangs keine unbedeutende...

Im Betrieb kann eine Trockenlampe ausfallen, weil die Glühbirne ihren Glanz verliert. Dadurch entstehen Wasserzeichen auf den 300-mm-Wafern. Zudem...

Über die Leitung kann man beobachten, wie der Prozess abläuft. Die Temperatur steigt um 2°C an – und schon ändert sich das Profil des Photoresists....

Auf der Fertigungsfläche kann eine Wafer, die gerade aus dem Endreinigungsprozess kommt, nicht einmal einen Mikrometer an Wasserbedingungen...

Auf der Fertigungsstraße reicht bereits eine Temperaturdifferenz von 0,1 °C auf der Wafer-Oberfläche aus, um die Kontrolle über die Linienbreite zu...

Auf der Produktionsebene gilt: Jede Veränderung von 1°C während des Weichbrennvorgangs kann dazu führen, dass kritische Abmessungen um Nanometer...

Im Lithografiebereich sorgen Polyimidenschichten dafür, dass die komplexen Verbindungen zwischen den verschiedenen Komponenten zusammenbleiben. Ein...

Auf dem Lithografie-Floor läuft die Linie weiter, unabhängig davon, ob Ihr Bake-Profil optimiert ist oder nicht. Soft-Bake-Drift zeigt sich als...

On the fab floor sitzt Feuchtigkeit auf der Wafer-Oberfläche nicht einfach untätig herum. Sie beeinflusst die Profile des Photolacks, verfälscht...