Sicherheitssicherung von IR-Lampen in der Nähe flüchtiger Chemikalien
Das Erhitzen von Siliziumwafern während der chemischen Reinigung erfordert ein feines Gleichgewicht. Man benötigt präzise IR-Energie – doch dies geschieht direkt in der Nähe brennbarer Lösungsmittel. Das ist ein Rezept für Katastrophen. Schon eine kleine Funke oder ein Riss im Quarzrohr kann zu ernsthaften Problemen führen.
Wir gehen dieses Risiko nicht ein. Anstelle von offenen Konstruktionen verwenden wir spezielle, hermetisch abgeschlossene Gehäuse.
Das Geheimnis der Abdichtung
Stellen Sie sich das wie eine Schutzhülle vor. Die IR-Lampen werden in speziellen Quarz- oder Saphirgehäusen untergebracht, die als Barriere zwischen dem Heizelement und den gefährlichen Chemikaliendämpfen fungieren.
Wir verwenden hochtemperaturfeste Vakuumabdichtungen, damit keine brennbaren Gase eindringen können. Falls ein Rohr versagt, schützt die Abdichtung den Glühfaden davor, mit der Luft in Berührung zu kommen.
Da diese Geräte ständig erhitzt und abgekühlt werden, verwenden wir dafür spezielle Legierungen. Dadurch wird verhindert, dass das Glas unter dem Druck der ständigen Stromzufuhr zerbricht.
Kampf gegen Hitze und Korrosion
Fällt die Abdichtung aus, geht auch die Stabilität des Geräts verloren. Um das zu verhindern, tragen wir chemikalienresistente Beschichtungen auf die Außenseite der Gehäuse auf.
Warum? Weil korrosive Substanzen gerne Quarz angreifen. Dadurch entstehen Mikrorisse, die wiederum zu einem vorzeitigen Ausfall des Geräts führen können. Niemand möchte schließlich Lampen mitten im Betrieb ersetzen müssen.
Das Problem dabei ist: Das Gehäuse speichert Wärme. Da die Lampe nicht im Freien steht, wird sie noch heißer. Um das zu beheben, reduzieren wir meist die Leistung der Lampe oder erhöhen den Kühlstrom. So wird verhindert, dass der Glühfaden seine Belastungsgrenze erreicht.
Einsatz in gefährlichen Bereichen
Bei der Verkabelung machen viele Menschen Fehler. Man kann diese Geräte einfach nicht so einstecken.
Wir verwenden explosionssichere Leitungen, abgedichtete Kabelanschlüsse sowie geerdete Gehäuse, um jegliche statische Aufladung zu vermeiden. So bleiben elektrische Entladungen unter Kontrolle.
Im Grunde genommen verwandeln wir etwas, das zu einer gefährlichen Brandquelle werden könnte, in ein zuverlässiges Werkzeug. So erhalten Sie die notwendige Wärmestärke für Ihre Wafer – und können beruhigt schlafen, da Ihre Anlage nicht explodieren wird.