Ihre Halbleiterwafer sicher schützen – ohne die Wärme zu verlieren
Wenn Sie ein Reinraum für Halbleiterproduktion betreiben, wissen Sie, womit es zu tun ist: Es handelt sich um Umgebungen mit brennbaren Lösungsmitteln. Das ist eine hochriskante Situation. Der Einsatz einer normalen Infrarotlampe in solchen Bereichen birgt große Gefahren – schon ein kleiner Funke oder eine heiße Oberfläche, die mit einem Chemikaliendampf in Berührung kommt, kann zu einer Katastrophe führen.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Anstatt einfach nur einer herkömmlichen Glühbirne zu verwenden, platzieren wir die Lampe in einen speziell konstruierten, luftdichten Behälter.
Wie wir die Wärme kontrollieren
Wir haben die Lampe nicht einfach nur in Plastik eingehüllt – das würde nicht funktionieren. Stattdessen verwenden wir eine zweischichtige Abschirmung. Die Quarzkernheizung befindet sich in einem verstärkten Außenmantel, der den Einfluss aggressiver Chemikalien widerstehen kann.
Das eigentliche Geheimnis liegt in den Enden der Lampe. Wir verwenden Hochtemperaturdichtungen, damit nichts in die elektrischen Anschlüsse gelangen kann. Dadurch wird verhindert, dass flüchtige organische Verbindungen in die Nähe der Heizelemente gelangen. Indem wir die Heizelemente vollständig von der Umgebungsluft trennen, eliminieren wir die „Entzündungsquelle“. So können Sie etwas entspannter atmen.
Umgang mit der Wärme
Sicherheit ist wichtig – doch die Lampe muss trotzdem in der Lage sein, die Wafer zu erhitzen. Wir verwenden Kurzwelle-Infrarotstrahler, damit die Energie direkt durch die chemischen Lösungen oder die Waferoberfläche dringen kann. Doch dadurch entsteht viel Druck auf die Dichtungen.
Wir wählen Dichtungen aus, die auch bei ständiger Heizung und Kühlung nicht zerbrechen. Denn wenn eine Dichtung versagt, ist die Lampe ruiniert. Deshalb müssen Sie die Dichtungen bei jeder Wartung überprüfen. Es gibt keinen Weg daran vorbei – prüfen Sie sie und stellen Sie sicher, dass sie luftdicht sind.
Einbau in Ihre Anlage
Die gute Nachricht: Diese Lampen können problemlos als Ersatz eingesetzt werden. Sie müssen Ihre gesamte Anlage nicht neu aufbauen. Wir verwenden explosionsgeschützte Kabel sowie verstärkte Stecker, um Aussetzer zu vermeiden.
Eines sollten Sie beachten: Die zusätzliche Schutzschicht kann die Strahlleistung etwas beeinträchtigen. Um das zu kompensieren, müssen Sie die Lampen vielleicht etwas näher anbringen oder die Leistung erhöhen, damit die Erwärmungszeiten weiterhin angemessen sind. Es handelt sich dabei um einen kleinen Kompromiss – Sie verlieren etwas an Leistung, aber dafür haben Sie die Gewissheit, dass Ihre Anlage keine Zeitbombe ist.