在光刻工艺中，聚酰亚胺层的作用是确保各种复杂的电路结构能够稳定地结合在一起。如果在高温固化过程中出现温度波动，那么整个电路结构就会毁掉。我们设计的聚酰亚胺固化热处理系统，就是为了消除这种风险。
关键点： 在整个固化过程中，我们需要保持晶圆表面的温度均匀性在±0.1℃范围内，从低温预处理到最终固化阶段都是如此。短波红外元件负责加热晶圆本身，而非整个腔室，因此，在1-100级的洁净室环境中，空气中的颗粒浓度可控制在每立方英尺0.1个以下。每次固化的重复精度可达±0.5℃，这样每次光刻工艺的结果都一致。
碳纤维加固的加热板能够快速升温，且不会产生热点。此外，该系统还会记录每个处理周期的数据，以便进行完整的追溯。
实际应用中的优势： 聚酰亚胺的固化过程需要平衡热量供应与化学稳定性。我们的控制系统能够确保固化过程在合适的温度范围内进行——既不会因为固化不足而导致蚀刻时结构脱落，也不会因为过度固化而引发气体释放问题。这样一来，就可以减少返工次数，降低废品率，同时还能实现全天候稳定的生产流程。
由于该系统能够快速冷却并快速升温，因此能耗也会降低，从而节省能源成本，而不影响生产速度。
需要考虑的事项： 该系统可以接入现有的涂覆/传送生产线，但需要专用的208伏三相电源以及符合洁净室标准的排风系统。调试工作需要大约4小时，而操作员培训则需1天时间。
在更换加热板时，必须按照手册中的步骤操作，避免机械冲击。如果某个固定件被拧得过紧，可能会导致温度均匀性下降0.2℃。