Khi làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS sau quá trình tẩy rửa hóa học, cần phải sử dụng nhiệt độ cao. Nhưng vấn đề là: việc làm điều này ngay gần các chất lỏng dễ cháy thực chất chính là cách tạo ra nguy cơ nổ. Đó là một tình huống rất nguy hiểm.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng những bóng đèn hồng ngoại chuyên dụng. Chúng được thiết kế riêng cho những môi trường dễ cháy như vậy, giúp chúng ta hoàn thành công việc mà không gây ra tai nạn nào.
Giữ cho mọi thứ được kín khít
Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại đều có các điểm tiếp xúc điện hở ra ngoài. Trong môi trường sản xuất, điều này có thể gây ra tia lửa. Chúng tôi không làm như vậy. Thay vào đó, chúng tôi bọc các bộ phận gia nhiệt bằng thạch anh hoặc thủy tinh chống hóa chất.
Chúng tôi cũng sử dụng các chất kết dính chất lượng cao và các konektor được niêm phong kỹ lưỡng. Điều này giúp ngăn các chất hóa học khỏi tiếp xúc với các điểm tiếp xúc điện. Nhờ vậy, chúng ta có thể tránh được tình trạng dây điện bị hư hỏng do tác động của các chất hóa học. Việc không phải thay thế dây điện mỗi vài tháng quả là một điều tuyệt vời.
Điều chỉnh nhiệt độ phù hợp
Những bóng đèn này sử dụng bức xạ hồng ngoại tần số cao để làm khô các tấm wafer một cách nhanh chóng. Chúng tôi điều chỉnh công suất của bóng đèn sao cho các chất lỏng bay hơi nhanh, nhưng tấm wafer không bị quá nóng. Như vậy, toàn bộ bề mặt tấm wafer sẽ được làm nóng đều. Tuy nhiên, cần lưu ý rằng các bóng đèn có công suất cao sẽ tạo ra nhiều nhiệt. Hãy đảm bảo hệ thống thông gió hoạt động tốt, nếu không, vỏ máy sẽ trở nên quá nóng.
Độ tin cậy trong thực tế
Chúng tôi chế tạo những bóng đèn này để sử dụng trong môi trường sản xuất 24/7. Mọi điểm kết nối đều được kiểm tra kỹ lưỡng để đảm bảo chúng không bị rò rỉ hay hư hỏng theo thời gian.
Khi lắp đặt những bóng đèn này, việc chúng được niêm phong kỹ lưỡng giúp chúng ta không cần lo lắng về việc các chất hóa học xâm nhập vào bên trong. Chúng tôi coi tính an toàn của các điểm kết nối là yếu tố quan trọng nhất. Dù công suất của bóng đèn có cao đến đâu, nếu nó gây ra nguy hiểm thì cũng chẳng có ích gì.
Tuy nhiên, cũng có một nhược điểm: do lớp vỏ bảo vệ này, những bóng đèn này cần thời gian lâu hơn để đạt nhiệt độ mong muốn. Nhưng thực sự, trong một môi trường đầy chất hóa học dễ cháy, đó là một cái giá mà chúng tôi sẵn sàng trả. Đó là cách duy nhất để đảm bảo an toàn cho toàn bộ nhà máy.