Як правильно використовувати термовізійні системи у вашому обладнанні для обробки пластин
Якщо ви прагнете до створення більш ефективних заводів з виробництва чипів, ви, ймовірно, вже усвідомили, що традиційні термометри вже не підходять для цієї мети. Вони працюють повільно. Крім того, дотик до пластини є ризикованим кроком, якого не варто робити.
Саме тому ми перейшли на використання високошвидкісних інфрачервоних систем. Таким чином ми можемо отримувати дані про температуру в реальному часі, не торкаючись поверхні пластини. Немає жодного ризику забруднення чи механічних пошкоджень – лише точні дані.
Припуски – це минуле, потрібно бачити реальність
Цифрове виробництво ґрунтується на потоці даних. Ми підключаємо інфрачервоні датчики безпосередньо до системи PLC чи SCADA, що дозволяє перетворювати інфрачервоне випромінювання на цифрові сигнали миттєво.
Найкраще те, що тепер ви можете бачити справжню поверхню пластини. За допомогою термопар ви часто можете лише припускати значення температури на основі температури самого пристрою чи стінок камери. Тепер же ви можете бачити все безпосередньо. Якщо щось зміщується на поверхні пластини, ви будете про це знати негайно та зможете швидко скоригувати параметри нагріву.
Проблема „вікна“
Вакуумні камери є складним середовищем для роботи обладнання. Найбільшою проблемою є „ефект вікна“ – коли кварцові чи сапфірові елементи, які використовуються для спостереження, блокують інфрачервоні сигнали.
Це дратує, але ми знайшли спосіб це подолати. Ми налаштовуємо наші датчики так, щоб вони працювали в певних діапазонах довжин хвиль, які проходять крізь ці матеріали.
Є одна порада: тримайте оптичний шлях чистим. Якщо на елементах, які використовуються для спостереження, будуть накопичуватися залишки газів, ваші показники будуть помилковими. Це просте рішення, але саме воно визначає різницю між ідеальним процесом виробництва та втратою продукції.
Компроміси
Переваги використання інфрачервоних датчиків є значними для проектування обладнання. Ви можете позбутися великих датчиків та заощадити простір у камері. Але є і недоліки. Високоякісні інфрачервоні датчики генерують велику кількість даних.
Якщо ви плануєте використовувати це обладнання на всій лінії виробництва, переконайтеся, що ваша мережа може справлятися з таким обсягом даних. Якщо є затримки у передачі даних, то і процес виробництва буде уповільнений. У виробництві чипів на складних технологічних лініях кожна мілісекунда затримки є неприйнятною.