На лінії перевірки різниця температури у 0,5°C є критичною – це різниця між виробом, який проходить перевірку, та тим, який не проходить її. Температура пластини впливає на сигнал, формує фонові значення та визначає поведінку фоторезисту під дією об’єктива. Якщо нагрівач не може підтримувати необхідну температуру, це призводить не лише до зниження якості виробу, а й до порушення всього графіка виробництва.
Що ми використали в нагрівачі для перевірки
Ми використали елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання та теплові елементи на основі кварцу, щоб досягти однорідності температури на рівні пластини в межах ±0,1°C. Час стабілізації температури становить менше 200 мс, тож теплові затримки не заважають швидким скануванням. Контроль здійснюється за допомогою каліброваного датчика, розташованого в зоні нагріву; параметри контролю не визначаються на основі температури корпусу. Матеріали, використані в конструкції, підходять для приміщень класу 1–100; їх використання забезпечує низький рівень викидів газів та відсутність частинок, що підтверджується безпосередніми вимірюваннями. Пристрій працює при напрузі 110–240 ВAC та підходить до стандартних інтерфейсів обладнання, маючи чітко визначені механічні параметри та типи з’єднань.
Що потрібно пам’ятати
Ефективність пристрою залежить від геометрії камери та її здатності до охолодження. Тож під час встановлення необхідно вирівняти зону нагріву з площиною пластини. Після заміни пристрою необхідно провести одноразове вимірювання температури для формування таблиці компенсації. Якщо вологість повітря сильно змінюється, необхідно дати системі трохи часу на стабілізацію перед тим, як фіксувати параметри перевірки.