На поверхні печі дверцята печі закриваються, і починає тикати годинник. Температури для м’якого та жорсткого випалювання повинні швидко досягати необхідного рівня та залишатися стабільними – будь-які зміни призводять до помилок у розмірах продукту, утворенню шламу чи залишкового шару на поверхні продукту. Якщо контроль температури порушується, це впливає на якість продукту та на час його виробництва.
Що є важливим у конструкції
Ми створили елемент нагріву від Oxford Instruments для керування температурою під час обробки напівпровідників. Кварцова конструкція забезпечує швидку реакцію на короткочастотне інфрачервоне випромінювання, що дозволяє швидко досягти необхідної температури з мінімальною тепловою інерцією. У всій зоні випалювання однорідність температури на рівні пластини повинна бути не більше ±0,1°C, а повторюваність результатів – високою протягом кількох процесів. Елемент може функціонувати у середовищі класу 1–100, а його конструкція забезпечує мінімізацію утворення частинок. Робоча потужність залишається стабільною протягом 5 000+ годин з мінімальними коливаннями.
Чому це важливо для фоторезисту
Під час обробки фоторезисту точність контролю температури має вирішальне значення. Цей елемент нагріву дозволяє краще контролювати процес м’якого та жорсткого випалювання, що покращує контроль над критичними розмірами продукту та зменшує кількість дефектів, спричинених нерівномірністю температури. Швидке нагрівання скорочує час випалювання, не завдаючи шкоди процесу дегідратації полімеру. Використання енергії також зменшується, оскільки елемент нагрівається лише тоді, коли це необхідно, та підтримує стабільну температуру без перевищень. Цей елемент є альтернативою, яка відповідає стандартам, тож може бути встановлений у існуюче обладнання без необхідності повної заміни обладнання.
Деталі, які визначають ефективність
Тolerанції під час встановлення є дуже строгими. Елемент потрібно встановлювати у вказаний проміжок та закріплювати з урахуванням вказаного крутного моменту – інакше можуть виникнути „гарячі точки“ та передчасне напруження матеріалу. Також необхідна правильна напруга та ефективна система охолодження; стабільний потік повітря та чисті поверхні є необхідними для збереження стабільності температури на рівні ±0,1°C. Конектори та кріплення також повинні відповідати стандартам виробника, а геометрія камери для випалювання має бути такою, щоб уникнути ефекту тіней. Необхідно проводити профілактичні перевірки у встановлені проміжки часу, щоб зберегти стабільну продуктивність обладнання.