Як підтримувати чистоту у приміщенні класу 100
Під час нагрівання напівпровідникових пластин контроль температури є лише половиною завдання. У середовищі класу 100 одна-єдина крихта пилу може зіпсувати цілу партію чипів. Це справжній кошмар. Саме тому ми відмовилися від нагрівачів із металевою оболонкою – вони швидко починають руйнуватися та виділяти зайві гази. Натомість ми використовуємо інфрачервоні лампи з високочистим кварцем.
Чому саме кварц?
Ми використовуємо синтетичний кварцовий силікат, адже він краще витримує високі температури. Звичайне скло починає руйнуватися чи виділяти домішки при нагріванні, але кварц залишається стабільним. Інфрачервоне випромінювання проходить крізь кварц без впливу на повітря навколо нього.
Це ефективно – тепло потрапляє прямо на поверхню пластини. Немає жодних частинок пилу чи інших забруднень, які могли б пошкодити пластину. Лише тепло.
Як встановити ці лампи
Ми прибрали з цих ламп усе, що могло б розвалитися чи пошкодитися. Метою було досягнення мінімальних розмірів ламп та повного відсутння забруднень. Ми також використовуємо високоякісні ущільнювачі з кварцу, щоб переконатися, що ніщо з внутрішньої частини лампи не витікає назовні.
Але потрібно бути обережним щодо потужності ламп. Вони нагріваються до дуже високих температур у дуже малих просторах. Якщо підвищити потужність без належного охолодження, це може призвести до проблем. Якщо різниця температур між гарячим центром та холодними кінцями лампи стане занадто великою, кварц може розколотися через термічний удар.
Як їх використовувати
Ці лампи є чудовим рішенням для станцій анілювання та в’ялення, де звичайні нагрівачі не підходять. Оскільки немає фізичного контакту, не потрібно турбуватися про пошкодження деталей.
Встановлення ламп дуже просте – достатньо підключити їх до контролера PID. Час нагрівання буде дуже коротким, а температурний профіль залишиться стабільним.
Остання порада: стежте за стабільністю живлення. Раптовий сплеск напруги може швидко пошкодити філамент у лампі з високочистим кварцем, на відміну від дешевих промислових ламп.