Чому ми замінюємо звичайне повітря на інфрачервоне світло в печах для чистих приміщень
Коли йдеться про обробку напівпровідників, усе зводиться до одного – скільки часу ми витрачаємо даремно?
Більшість людей звикли до використання примусового повітряного циркуляції. Але проблема полягає у тому, що процес конвекції є повільним. Фактично ми нагріваємо величезну кількість повітря та чекаємо, поки молекули цього повітря почнуть впливати на об’єкт обробки. Це дуже тривало.
Інфрачервоне світло усуває цю проблему – воно передає енергію безпосередньо на поверхню об’єкта обробки.
Прискорення процесу
У звичайних печах для чистих приміщень існує проблема з тепловою затримкою – потрібно чекати, поки повітря досягне потрібної температури, а потім ще й чекати, поки тепло проникне в сам об’єкт обробки. Це значно сповільнює процес.
Інфрачервоні нагрівачі дозволяють миттєво досягти необхідної температури. Уявіть собі, що процес, який раніше тривав 30 хвилин, тепер може займати лише 5 хвилин. Це величезна перевага для виробництва великої кількості продукції. Можна більше зробити за один день, не потрібно будувати більші приміщення для чистоти.
Складності
Однак не можна просто замінити вентилятор на інфрачервону лампу. Потрібно переглянути параметри теплового навантаження. Оскільки інфрачервоне світло є дуже концентрованим, легко створити „точки надмірного нагрівання“, якщо рефлектори розташовані не правильно. Також потрібні контролери типу PID, які можуть контролювати швидкість зміни температури.
На відміну від печей, які підтримують стабільну температуру, інфрачервоне світло залежить від відстані до об’єкта обробки. Якщо випромінювач знаходиться занадто близько до поверхні об’єкта, може виникнути його підгоряння. Це вимагає більшої точності, але результат того вартий.
Збереження чистоти
Найкраще те, що більше немає турбулентності. Високошвидкісні вентилятори створюють потоки повітря, які піднімають пил та інші частинки. Інфрачервоне світло не створює таких потоків – воно просто передає енергію на поверхню об’єкта обробки. Це означає, що фільтри типу HEPA не потрібно так активно використовувати. Таким чином отримується тихіше та чистіше середовище, а процес обробки відбувається швидше. Якщо ви хочете прискорити процес обробки, це саме той спосіб.