Чому ми перейшли на використання інфрачервоних нагрівачів у чистих кімнатах
Коли працюєш у заводі з виробництва напівпровідників, „чистота“ – це не просто ціль; це все. Не можна допустити, щоб жодна крапля пилу чи залишок речовини пошкодили пластину.
Довгий час для нагрівання використовувалися конвекційні печі. Але є проблема: такі печі просто розносять гаряче повітря. Це повітря містить частинки пилу, а кількість електроенергії, необхідна для підтримки температури великої металевої коробки, є вражаючою.
Саме тому ми перейшли на використання інфрачервоних нагрівачів. Замість нагрівання повітря, інфрачервоне випромінювання передає енергію безпосередньо до матеріалу.
Як це функціонує насправді? Уявіть собі, що ви стоїте на сонці в холодний день. Ви не відчуваєте, як спочатку нагрівається повітря; ви відразу відчуваєте тепло, яке потрапляє на вашу шкіру. Саме так і відбувається тут. Випромінювання потрапляє на матеріал, змушує молекули вібрувати, і ви отримуєте тепло миттєво.
Це дуже швидко. Дуже-дуже швидко. Оскільки ми не розносимо гаряче повітря по всій пластині, нам не потрібно так багато турбуватися про можливе забруднення. Крім того, це значно менш шкідливо для планети. Ми відмовилися від старих систем, які використовували паливо, що виділяло шкідливі речовини. Це значно полегшує процедуру екологічного контролю.
Які є складнощі? Ми зазвичай використовуємо лампи з короткою чи середньою довжиною хвилі. Якщо потрібно швидко висушити фоторезист чи витвердити смолу, то короткохвильові лампи є ідеальним рішенням.
Але потрібно бути обережними. Якщо просто збільшити потужність лампи без роздумів, можуть виникнути „гарячі точки“ чи навіть пошкодження самої пластини. Потрібно правильно підібрати відстань між лампою та пластиною. Ми використовуємо контролери PID та прецизійні датчики, щоб все було під контролем та щоб не пошкодити дорогі компоненти.
Яка ж користь для бізнесу? Найкраще – це економія на електроенергії. Ви перестаєте марнувати кіловати на нагрівання порожнього простору всередині коробки, а енергію можна використовувати саме там, де вона потрібна – на самому компоненті.
Це досить проста заміна для більшості старих конвекційних систем. Ви економите простір, знижуєтесь витрати на електроенергію, і при цьому дотримуєтесь правил глобальної ланцюгової поставки, не переймаючись зайвими деталями.