บนพื้นที่การอบ ประตูเตาจะปิดลง และนาฬิกาก็เริ่มทำงาน อุณหภูมิในการอบจะต้องคงที่อย่างรวดเร็ว หากมีความผันผวนเกิดขึ้น ก็จะส่งผลให้เกิดข้อผิดพลาดในการอบ เช่น มีสิ่งสกปรกหรือฟิล์มที่เหลืออยู่บนวัสดุที่อบ หากการควบคุมอุณหภูมิไม่ดี ก็จะส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพการผลิตและเวลาที่สูญเสียไป
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่องอบ
เราได้ออกแบบองค์ประกอบการให้ความร้อนของ Oxford Instruments โดยใช้วัสดุควอตซ์เพื่อให้เกิดการตอบสนองต่อรังสีอินฟราเรดในย่านคลื่นสั้น ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว ความแม่นยำของอุณหภูมิในบริเวณการอบอยู่ที่ ±0.1°C และสามารถคงความแม่นยำนี้ได้ในแต่ละครั้งที่อบ อุปกรณ์นี้สามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 และการออกแบบของอุปกรณ์ช่วยลดการเกิดอนุภาคสกปรกให้เหลือน้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ อุปกรณ์นี้สามารถคงอุณหภูมิได้อย่างมั่นคงเป็นเวลากว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีความผันผวนน้อยมาก
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการผลิตโฟโตรีซิสต์
ในกระบวนการผลิตโฟโตรีซิสต์ ความแม่นยำของอุณหภูมิมีความสำคัญมาก องค์ประกอบการให้ความร้อนนี้ช่วยควบคุมอุณหภูมิในการอบได้อย่างดี ทำให้สามารถควบคุมขนาดของวัสดุที่อบได้อย่างแม่นยำ และลดข้อผิดพลาดที่เกิดจากความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ การเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วช่วยลดเวลาการอบ โดยไม่ส่งผลเสียต่อกระบวนการการกำจัดน้ำออกจากโพลิเมอร์ ทำให้สามารถลดเวลาการผลิตได้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะอุปกรณ์จะให้ความร้อนตามความต้องการ และคงอุณหภูมิไว้ได้อย่างมั่นคง อุปกรณ์นี้เป็นทางเลือกที่ได้รับการยืนยันความน่าเชื่อถือ และสามารถใช้ร่วมกับอุปกรณ์เดิมได้ ทำให้สามารถปรับปรุงประสิทธิภาพการควบคุมอุณหภูมิได้โดยไม่ต้องเปลี่ยนอุปกรณ์ทั้งหมด
รายละเอียดที่สำคัญ
ความแม่นยำในการติดตั้งมีความสำคัญมาก ต้องปรับองค์ประกอบการให้ความร้อนให้อยู่ในช่วงที่กำหนด และต้องใช้แรงบิดที่เหมาะสม มิฉะนั้นจะเกิดจุดร้อนและความเครียดที่ไม่พึงประสงค์ นอกจากนี้ ยังต้องมีแรงดันไฟฟ้าที่เหมาะสม และมีระบบระบายความร้อนที่ดี การไหลของอากาศที่สม่ำเสมอและพื้นผิวที่สะอาดก็มีความสำคัญมาก หากต้องการให้อุณหภูมิคงที่ที่ ±0.1°C ต้องปรับให้ตัวเชื่อมต่อและอุปกรณ์ติดตั้งเข้ากันได้กับอุปกรณ์เดิม และต้องตรวจสอบรูปร่างของห้องอบเพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาการเกิดเงา ควรมีการตรวจสอบอุปกรณ์เป็นประจำตามช่วงเวลาที่กำหนด เพื่อให้ประสิทธิภาพของอุปกรณ์คงที่