Как сохранить чистоту в чистом помещении класса 100
Если вы управляете чистым помещением класса 100, вы знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Одна мельчайшая пыинка или кусочек металла могут разрушить всю систему. Что касается нагревателей в полупроводниковых устройствах, то именно они часто становятся источником проблем. Это самый серьезный источник загрязнения во всей системе.
Мы нашли способ этого избежать. Используя инфракрасные лампы из высокочистого кварца в сочетании с специальными проводами из PTFE, мы смогли полностью исключить выброс газов и других загрязняющих веществ.
Почему важен кварц
Мы не используем обычный кварц – он недостаточно чист. При высоких температурах дешевый кварц может выделять примеси, которые могут повредить полупроводниковые пластины. В результате это приводит к потере материала.
Вместо этого мы используем синтетический кварц высокой чистоты. Такие лампы излучают кратковолновое инфракрасное излучение, что очень хорошо, так как энергия попадает непосредственно в объект нагрева. Воздух вокруг не нагревается, поэтому температура в чистом помещении остается стабильной и комфортной.
Проблемы с проводкой
Проводка из PVC или силикона не подходит для использования в условиях высоких температур. Когда они достигают своего предела, они начинают выделять летучие органические соединения. Это совсем не то, что нужно в вакуумной камере.
Поэтому мы используем проводку из PTFE. Она химически инертна: она не плавится, не трескается и не реагирует на высокие температуры. Это обеспечивает надежную электрическую связь.
Несколько советов
Ничто не бывает идеальным. Есть некоторые компромиссы. PTFE более жесткий, чем силикон. Его нельзя сгибать слишком сильно, иначе провод будет подвергаться дополнительному напряжению. Необходимо предоставить кабелям достаточно пространства для изгиба.
Кроме того, поскольку эти лампы выделяют большое количество тепла, необходимо правильно спроектировать систему охлаждения. Если концы лампы слишком нагреваются, уплотнители могут сломаться. Неважно, насколько хороши провода, если уплотнители не справляются со своей задачей.
Мы разработали эти лампы так, чтобы они могли заменить существующие нагреватели. Мы сделали упор на чистоту, ведь именно это имеет значение в таких условиях.