Почему мы перешли на инфракрасное отопление в чистых зонах производства
В производстве полупроводников «чистота» — это не просто цель, это самое главное. Нельзя допустить, чтобы хоть одна пылинка или крошечное количество остатков загрязнили пластину.
Долгое время для обогрева использовались конвекционные печи. Но у них есть один серьезный недостаток: они просто нагревают воздух. Этот воздух содержит частицы пыли, а количество энергии, необходимое для поддержания высокой температуры в металлическом корпусе печи, действительно огромно.
Поэтому мы перешли на инфракрасные нагреватели. Вместо нагрева воздуха инфракрасное излучение напрямую передается на сам материал.
Как это работает на практике
Представьте себе, что вы стоите на солнце в холодный день. Вы не чувствуете, как сначала нагревается воздух; вы сразу чувствуете тепло, доходящее до вашей кожи. Именно так и происходит здесь: излучение попадает на материал, заставляет молекулы вибрировать, и сразу возникает тепло.
Это очень быстро. Действительно очень быстро. Поскольку мы не используем горячий воздух, нам не нужно беспокоиться о возможном загрязнении поверхности пластины. К тому же это гораздо более экологично. Мы отказались от старых систем, работающих на топливе, которые выделяли вредные вещества. Это значительно снижает нагрузку на окружающую среду.
Сложности
Обычно мы используем лампы с коротковолновым или средневолновым излучением. Если нужно быстро высушить фоторезисты или затвердить смолы, то коротковолновые лампы — лучший выбор, так как они обеспечивают высокую мощность нагрева.
Но нужно быть осторожным. Если увеличить мощность без раздумий, можно получить «горячие точки» на поверхности пластины, а то и ее повреждение. Необходимо правильно выбрать расстояние между лампой и пластиной. Мы используем контроллеры PID и точные датчики, чтобы поддерживать постоянную температуру и не испортить дорогостоящие детали.
Преимущества для бизнеса
Лучшее преимущество — это снижение расходов на электроэнергию. Вы больше не тратите энергию на нагрев пустого пространства внутри печи, а направляете ее прямо на саму деталь. Это очень просто — достаточно заменить старые конвекционные устройства на инфракрасные. Вы экономите пространство, снижаете затраты на энергию, и при этом соблюдаете правила глобальной цепочки поставок.