Как сохранять чистоту в помещении класса 100
При нагреве полупроводниковых пластин контроль температуры — это лишь половина решения проблемы. В условиях помещения класса 100 даже одна крошечная пылинка может разрушить целую партию чипов. Это настоящий кошмар. Поэтому мы отказались от нагревателей с металлическим покрытием — они легко повреждаются и выбрасывают слишком много газов. Вместо этого мы используем инфракрасные лампы из высокочистого кварца.
Почему именно кварц?
Мы используем синтетический фьюзированный кремний, потому что он более устойчив к воздействию высоких температур. Обычное стекло начинает разрушаться или содержать примеси при повышении температуры, но кварц остается стабильным. Инфракрасное излучение проходит сквозь кварц, не влияя на окружающий воздух.
Это позволяет получать чистое тепло, которое направляется прямо на поверхность пластины. Никаких частиц в воздухе, которые могли бы повредить пластину. Только тепло.
Установка ламп
Мы устранили все элементы, которые могли бы повредиться при работе ламп. Цель состояла в том, чтобы создать устройство с минимальными габаритами и без какого-либо загрязнения. Мы также использовали высококачественные уплотнители из кварца, чтобы ничего из внутренней части лампы не вытекало наружу.
Но есть один важный момент: необходимо быть осторожным с мощностью подачи энергии. Эти лампы нагреваются до очень высоких температур в очень маленьком пространстве. Если увеличить мощность без должного охлаждения, это может привести к серьезным проблемам. Если разница температур между горячим центром и холодными контактами будет слишком велика, кварц может треснуть из-за термического удара.
Как использовать лампы
Эти лампы — настоящее спасение для станций анилинга и отверждения, где традиционные нагреватели просто не справляются со своей задачей. Поскольку нет физического контакта, не нужно беспокоиться о появлении царапин или повреждений на деталях.
Установка ламп очень проста — достаточно подключить их к контроллеру PID. Вы заметите, что время нагрева минимально, а температурный профиль остается стабильным.
Еще один совет: следите за качеством блока питания. Убедитесь, что он стабилен. Внезапный скачок напряжения может быстро повредить филамент в лампе высокой чистоты, что невозможно с дешевыми промышленными лампами.