Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Se você opera uma sala limpa de classe 100, sabe qual é o desafio: até mesmo uma pequena partícula de poeira ou um único fragmento metálico pode estragar tudo. No que diz respeito ao aquecimento em semicondutores, o elemento de aquecimento costuma ser a causa dos problemas. Geralmente, ele é a maior fonte de contaminação em todo o sistema.
Descobrimos uma maneira de evitar isso. Ao combinar lâmpadas infravermelhas de quartzo de alta pureza com fios especializados feitos de Teflon (PTFE), conseguimos eliminar completamente a emissão de gases e partículas indesejadas.
Por que o quartzo é importante
Não utilizamos quartzo comum. Ele não é suficientemente puro. Em altas temperaturas, o quartzo barato pode liberar impurezas, e se essas impurezas atingirem as placas de silício, haverá grande perda de material.
Em vez disso, usamos quartzo sintético de alta pureza. Essas lâmpadas utilizam radiação infravermelha de onda curta, o que é ótimo, pois a energia vai diretamente para o substrato. Isso evita que o ar ao redor do substrato se aqueça, mantendo assim a temperatura da sala limpa estável e confortável.
O problema com os fios
O PVC e o silicone não são adequados para zonas de alto calor. Quando atingem seu limite, começam a liberar compostos orgânicos voláteis (COVs). Isso certamente não é algo desejável em uma câmara de vácuo.
É por isso que usamos revestimentos de PTFE (Teflon). Ele é quimicamente inerte; não derrete, não se desfaz e não se afeta pelo calor intenso emitido pelo tubo de quartzo. Assim, temos uma conexão elétrica sólida e eficiente.
Alguns pontos importantes a se levar em consideração
Nada é perfeito. Existem alguns compromissos a fazer.
O PTFE é um pouco mais rígido que o silicone. Não é possível dobrá-lo em cantos muito apertados, pois isso causará estresse no fio. É preciso deixar um espaço suficiente entre os cabos – um raio de curvatura maior.
Além disso, como essas lâmpadas geram muito calor, é necessário ter um sistema de resfriamento eficaz. Se as extremidades das lâmpadas ficarem muito quentes, os selos podem falhar. Não importa quão bons sejam os fios, se os selos falharem, tudo será inútil.
Projetamos essas lâmpadas para serem substitutos simples para os aquecedores atuais. Damos prioridade à pureza, pois, no seu mundo, é isso que realmente importa.