Por que mudamos para o uso de aquecimento por infravermelho em ambientes limpos
Quando se trabalha em fábricas de semicondutores, “limpeza” não é apenas um objetivo – é fundamental. Não se pode permitir que nem uma única partícula de poeira ou resíduo estrague um wafer. Por muito tempo, os fornos de convecção foram a solução utilizada. Mas o problema é que esses fornos simplesmente sopram ar quente ao redor do wafer. Esse ar carrega partículas, e a quantidade de energia necessária para manter um grande recipiente metálico aquecido é realmente enorme. É por isso que passamos a usar aquecedores a infravermelho. Em vez de aquecer o ar, o infravermelho transfere energia diretamente para o substrato.
Como funciona, na prática
Pense nisso como ficar ao sol em um dia frio. Você não sente o ar esquentar primeiro; sente o calor atingindo sua pele imediatamente. É exatamente isso que acontece aqui. A radiação atinge o material, fazendo com que as moléculas vibrem, e assim surge o calor imediatamente. É rápido. Muito rápido. Como não estamos utilizando ar quente para aquecer o wafer, não precisamos nos preocupar tanto com contaminação cruzada. Além disso, esse método é mais sustentável. Abandonamos os sistemas baseados em combustíveis, que geram VOCs nocivos, o que torna as auditorias ambientais muito menos estressantes.
Os desafios
Geralmente, usamos lâmpadas de infravermelho de onda curta ou média. Se você precisa secar resinas fotolíticas ou curá-las em segundos, a onda curta é a melhor opção, pois ela tem maior eficácia. Mas é preciso ter cuidado. Se você aumentar a potência da lâmpada sem pensar, acabará criando “pontos quentes” ou, pior ainda, danificando o substrato. É preciso equilibrar tudo corretamente. Usamos controladores PID e sensores de precisão para manter tudo sob controle, evitando assim a destruição de peças valiosas.
O benefício para o negócio
O melhor de tudo? A conta de eletricidade. Você para de desperdiçar energia aquecendo o espaço vazio dentro do forno e começa a usar essa energia onde ela realmente é necessária: no próprio componente. É uma troca bem simples em comparação com os antigos sistemas de convecção. Você economiza espaço, seus custos de energia diminuem, e você segue as regras da cadeia de suprimentos global, sem precisar se preocupar demais.