Stop de brokstukken: omgaan met gebroken infraroodlampen bij het verwerken van wafers
In een fabriek met hoge belastingen is het een nachtmerrie wanneer een infraroodlamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit veroorzaakt – al is dat natuurlijk ook vervelend. Het gaat ook om de chaos die ontstaat. Wanneer een kwartslamp kapotgaat, vallen er glasbrokstukken en chemische stoffen over het oppervlak van de wafers. Dat is een ramp die je je echt niet kunt veroorloven.
Daarom bouwen we onze IR-lampen met goudreflectoren op deze manier.
Waarom goud belangrijk is
De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren, maar aluminium neemt te veel energie op. Wij kiezen liever voor een laag van hoogwaardig goud.
Waarom? Omdat goud uitstekend is in het weerkaatsen van infrarode straling. Het geleidt de hitte precies waar deze nodig is – richting de wafer – zodat de behuizing van de lamp niet beschadigd raakt. Als de behuizing koeler blijft, wordt de lamp minder beschadigd door thermische schokken. Hierdoor duurt de lamp langer.
Voorkomen dat lampen exploderen
Meestal gaan lampen kapot omdat de hitteverdeling oneffen is of omdat de afdichtingen aan de uiteinden het begeven.
Om dit te voorkomen, gebruiken we kwarts met een dikke wand. Dit materiaal is sterk genoeg om de interne druk van de halogencyclus te weerstaan. Bovendien zijn de afdichtingen zo ontworpen dat ze snel kunnen worden verwarmd en afgekoeld, zonder dat ze breken.
Een tip: let goed op de spanningsschommelingen. Als je de lampen forceren boven hun maximale vermogen, vraag je ze feitelijk om eerder kapot te gaan. Ik raad altijd aan om ze te combineren met nauwkeurige PID-regelaars. Dit voorkomt ongewenste schommelingen die kunnen leiden tot kapotte lampen.
Voorkomen van vervuiling
Zelfs met de beste apparatuur kan er nog iets misgaan. Om te voorkomen dat er deeltjes op de wafers terechtkomen, plaatsen we de lampen in een beschermd mechanisme.
De goudreflector doet hier twee dingen: hij weerkaatst de hitte, maar fungeert ook als een barrière. Als een lamp toch kapotgaat, zorgt de behuizing ervoor dat de brokstukken niet op de producten terechtkomen.
Nog één tip: houd je koelingsventilatoren schoon. Als de luchtstroom afneemt, kan zich hitte ophopen in de behuizing. Dit kan op den duur leiden tot schade aan de goudlaag. Houd de lucht in beweging en de temperatuur stabiel, zodat je output op het gewenste niveau blijft.