Ottenere immagini termiche di qualità nei propri strumenti per la lavorazione delle wafer
Se cercate di implementare soluzioni più avanzate nei vostri impianti di produzione, probabilmente avrete capito che i termometri tradizionali non sono più adatti a questo scopo. Sono lenti nel fornire informazioni precise. Inoltre, toccare la superficie della wafer rappresenta un rischio inutile.
Ecco perché abbiamo optato per sistemi a infrarossi ad alta velocità. Possiamo ottenere mappe termiche in tempo reale, senza dover toccare affatto la superficie della wafer. Niente contaminazioni, niente stress meccanico: solo dati precisi.
Smettete di indovinare, iniziate a vedere
La produzione digitale si basa sul flusso di dati. Colleghiamo i sensori a infrarossi direttamente al sistema PLC o SCADA, trasformando così le radiazioni termiche in segnali digitali in modo istantaneo.
La cosa migliore è che ora potete vedere effettivamente la superficie della wafer. Con i termocupli, spesso bisogna fare delle stime basandosi sulla temperatura del supporto o delle pareti della camera di produzione. Ora invece potete vedere direttamente ciò che succede sulla superficie della wafer. Se qualcosa si muove su quella superficie di 300 mm, lo saprete immediatamente e potrete regolare i elementi di riscaldamento in tempo reale.
Affrontare il problema delle “finestre”
Le camere a vuoto rappresentano ambienti molto ostili. Il problema principale è l’“effetto finestra”: i portafinestri in quarzo o zaffiro bloccano i segnali a infrarossi. È frustrante, ma abbiamo trovato una soluzione. Calibriamo i nostri sensori in modo che funzionino con specifiche bande di lunghezza d’onda che permettono ai segnali di passare attraverso questi materiali.
Un consiglio importante: mantenete pulito il percorso ottico. Se sui portafinestri si formano dei residui, i dati raccolti diventeranno imprecisi. È una soluzione semplice, ma è fondamentale per ottenere risultati precisi.
I vantaggi e gli svantaggi
I vantaggi sono enormi per la progettazione degli strumenti: potete eliminare quei sensori ingombranti e liberare spazio nella camera di produzione. Tuttavia, c’è un svantaggio: i sensori a infrarossi ad alta risoluzione producono molte informazioni. Se dovete utilizzare questi sensori su più strumenti, assicuratevi che la vostra rete sia in grado di gestire tale volume di dati. Se ci sono ritardi nei dati, anche i circuiti di controllo ne risentiranno. Nella produzione di chip di fascia alta, un millisecondo di ritardo può essere fatale.