Nella sala di litografia, sono proprio gli strati di poliimide a mantenere insieme le componenti elettroniche avanzate. Un piccolo errore di temperatura durante la fase di cottura può rovinare tutto. Abbiamo progettato un sistema termico per la cura del poliimide, al fine di eliminare questo rischio.
Cosa è importante
Riusciamo a mantenere una uniformità termica pari a ±0,1°C su tutta la superficie del wafer, dalla fase iniziale di cottura fino alla fase finale. Gli elementi a infrarossi a breve lunghezza d’onda riscaldano il wafer stesso, non la camera di cottura; quindi, il numero di particelle presenti nella stanza rimane inferiore a 0,1 per piede cubo, anche nelle aree di classe 1–100. La ripetibilità delle operazioni è di ±0,5°C, così che ogni ciclo di cottura dia risultati costanti.
Le piastre riscaldanti rinforzate con fibra di carbonio permettono una rapida升温, senza creare zone troppo calde. Inoltre, il sistema registra ogni ciclo di cottura, per garantire tracciabilità totale.
Perché funziona nella pratica
La cura del poliimide richiede un equilibrio tra temperatura e stabilità chimica. Il nostro sistema mantiene la temperatura entro i limiti ottimali, evitando sia una cottura insufficiente che potrebbe causare problemi durante l’etching, sia una cottura eccessiva che potrebbe causare la fuoriuscita di gas. Il risultato è meno lavori di riparazione, meno scarti e un funzionamento costante 24/7.
L’uso dell’energia diminuisce, poiché il sistema entra in modalità di standby quando non è in uso e si scalda rapidamente, riducendo così i costi energetici senza influenzare i tempi di cottura.
Cosa bisogna considerare
La piattaforma può essere integrata nelle linee di verniciatura esistenti, ma è necessario un alimentatore dedicato da 208 V, trifase, oltre a un sistema di estrazione aria conforme alle norme delle sale pulite. È necessario prevedere quattro ore per la messa in funzione e un giorno intero per la formazione degli operatori.
Le piastre riscaldanti non tollerano sollecitazioni meccaniche durante lo cambio delle configurazioni; quindi è importante seguire precise istruzioni fornite nel manuale. Un singolo bullone stretto troppo può causare una variazione di temperatura di 0,2°C.