במפעלי הייצור, וופרים שעוברים את שלב השטיפה האחרון אינם יכולים לסבול אפילו מיקרון אחד של סימני מים על פניהם. תנורי חימום באמצעות חום קונווקציוני מבזבזים את זמנם על ניסיונות ליצור איזון בטמפרטורה על פני הוופר; כל ניסיון כזה פוגע בתפוקה. חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום משנה את התמונה.
מה באמת חשוב מבחינה טכנית? קרינת אינפרא-אדום פוגעת ישירות במים, ובכך מחממת את פני הוופר מבלי להכניס חום לאוויר שבתוך התנור. כך נוצרת אחידות טמפרטורית ברמת הוופר – בטווח של ±0.1°C. אין יותר צורך להתמודד עם אי-האחידות בין הקצוות למרכז שקיימת בשיטות חימום אחרות. קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים מספקת אנרגיה מהירה ומבוקרת, מה שמאפשר חימום אחיד של הוופר. קרינת אינפרא-אדום בגלים בינוניים מאפשרת שליטה טובה יותר בטמפרטורה, כשצריך טמפרטורה גבוהה יותר, מבלי שייווצרו בעיות.
המערכת מותאמת לתנאי חדרי ניקיון מדרגה 1–100: אין ייצור של חלקיקים, השימוש בחומרים כמו קוורץ או הלוגן, ועיצוב המערכת מונע הפרעות בזרימת האוויר. האחידות בתהליך החימום היא מעשית – ההפרשים בטמפרטורה בין סדרות הייצור שונות הם פחות מ-0.3°C.
למה זה מתאים לתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד רטוב? בתהליכי ליתוגרפיה ועיבוד רטוב, הדבר החשוב ביותר הוא זמן העיבוד ושליטה בפגמים. חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום מאפשר חימום מהיר יותר של הוופרים, שימוש בפחות אנרגיה לכל סדרת ייצור, והטווח שבו ניתן לשלוט בטמפרטורה גדול יותר. כך ניתן להשיג ביצועים עקביים בתהליך החימום, פחות צורך בתיקונים, ואחידות טמפרטורית לאורך כל סוגי המוצרים.
הכי חשוב – המערכת מותאמת לפעולה 24/7, שנה אחר שנה. חיי המערכת ארוכים, והאחידות בתהליך החימום נשמרת גם לאחר תחזוקה. אין צורך בזמני עצירה בלתי צפויים.
הפרטים הטכניים שכדאי להביא בחשבון: ניתן להתאים את מערכת החימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום לתנאי העבודה שלכם, אך יש להתחשב בעומסי החום ולתכנן את האינטגרציה שלה. המערכת קומפקטית, אך יש להתחשב בפיזור החום – תנאי הסביבה וחלוקת האנרגיה יכולים להשפיע על הביצועים אם לא מתכננים נכון.
אנו מתאימים את המערכת למותג הציוד שלכם ולתנאי חדר הניקיון שלכם. אנו מתאימים את גודל החיממן ומערכת הבקרה לגודל הוופר ולקצב הייצור שלכם. ניתן לצפות לזמן תקנון קצר כדי להתאים את קצבי החימום לסוג הפוטורזיסט שבשימוש.