בחדר הליתוגרפיה, שכבות הפוליאימיד הן אלו שמחזיקות יחד את החיבורים המתקדמים בין הרכיבים השונים. כל שינוי בטמפרטורה במהלך תהליך היישור עלול להרוס את כל התהליך. פיתחנו מערכת חימום מיוחדת שמסייעת למנוע סיכונים אלו.
מה חשוב בתהליך
אנו שומרים על אחידות טמפרטורית של ±0.1°C ברמת הוואפר, לאורך כל תהליך היישור – החל מהחימום הראשוני ועד ליישור הסופי. רכיבי אינפרא-אדום בעלי גלים קצרים מחממים את הוואפר, ולא את החדר עצמו; כך שמספר החלקיקים בחדר נשאר נמוך מ-0.1 לכל רגל רבוע, ברמת ניקיון 1–100. הדיוק בתהליך הוא ±0.5°C, כך שכל תהליך יישור יהיה זהה לקודמו.
לוחות החימום המחוזקים בסיבי פחמן מאפשרים חימום מהיר ללא אזורים חמים מדי. המערכת גם רושמת כל תהליך, כדי שניתן יהיה לעקוב אחריו.
למה זה עובד בפועל
תהליך יישור הפוליאימיד דורש איזון בין החימום לבין היציבות הכימית. המערכת שלנו שומרת על הטמפרטורה בטווח האופטימלי – לא חימום לא מספיק שעלול לגרום לבעיות בתהליך החריטה, וגם לא חימום יתר שעלול לגרום לפליטת גזים. התוצאה היא פחות עבודות תיקון, פחות בזבוז, ואפשרות לעבודה רציפה 24/7.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שהמערכת פועלת במצב מנוחה ומתחממת במהירות, מה שמפחית את העלויות מבלי לפגוע בזמן העבודה.
מה צריך לקחת בחשבון
המערכת יכולה להתחבר לקווי הציפוי/העבודה הקיימים, אך יהיה צורך במתח חשמלי של 208 וולט, 3 פאזות, וכן במערכת ייצוא אוויר נקייה. יש להקדיש ארבע שעות להגדרת המערכת ויום שלם להדרכת המפעילים.
לוחות החימום אינם עמידים לזעזועים מכניים במהלך החלפת הרכיבים; לכן יש לעקוב אחר ההוראות במדריך. חיזוק יתר של אחד הרכיבים עלול לגרום לשינוי באחידות הטמפרטורה בכ-0.2°C.