Arrêter les explosions des tubes : Comment gérer les pannes des lampes infrarouges lors du traitement des wafers
Dans une usine à fort volume de production, une défaillance d’une lampe infrarouge est un véritable cauchemar. Il ne s’agit pas seulement du temps d’arrêt – qui est déjà suffisamment problématique – mais aussi du désordre causé par les éclats de verre et les substances chimiques disséminées sur les surfaces des wafers. C’est une catastrophe que l’on ne peut pas se permettre.
C’est précisément pour cette raison que nous conçons nos lampes infrarouges avec des réflecteurs en or.
Pourquoi l’or est-il si important ?
La plupart des gens utilisent des réflecteurs en aluminium, mais l’aluminium absorbe trop d’énergie. Nous avons donc opté pour un revêtement en or de haute pureté.
Pourquoi ? Parce que l’or est excellent pour réfléchir la chaleur infrarouge. Il dirige cette chaleur exactement là où elle est nécessaire, c’est-à-dire vers les wafers. Ainsi, le boîtier de la lampe ne subit pas de dommages dus à la chaleur. Comme le boîtier reste plus froid, le tube ne subit pas autant de chocs thermiques. Il dure donc plus longtemps.
Comment éviter que les tubes n’explosent ?
Généralement, les tubes explosent à cause d’une distribution inégale de la chaleur ou à cause de défauts dans les joints aux extrémités du tube.
Pour résoudre ce problème, nous utilisons du quartz fusionné à paroi épaisse. Ce matériau est suffisamment résistant pour supporter la pression interne générée par le cycle halogène, sans se détériorer. De plus, les joints sont conçus pour résister aux cycles rapides de chauffage et de refroidissement, sans se fissurer.
Mais un conseil : veillez bien à contrôler les pics de tension électrique. Si vous forcez ces tubes à fonctionner au-delà de leur capacité maximale, vous les forcez à tomber en panne prématurément. Je recommande toujours d’utiliser des régulateurs PID précis. Cela évite ces surcharges qui peuvent provoquer l’explosion des tubes.
Comment empêcher la contamination ?
Même avec le meilleur équipement, des problèmes peuvent survenir. Pour éviter que des particules ne se retrouvent sur les wafers, nous plaçons les lampes dans un boîtier protégé.
Le réflecteur en or remplit ici deux fonctions : il réfléchit la chaleur, mais il agit également comme une barrière protectrice. Si un tube finit par brûler, le boîtier est conçu pour retenir les débris, afin qu’ils ne touchent pas les wafers.
Un dernier conseil : gardez vos ventilateurs de refroidissement propres. Si le flux d’air diminue, la chaleur s’accumule dans le boîtier, ce qui peut endommager progressivement la couche en or. Maintenez donc un flux d’air constant et une température stable, afin que vos rendements restent au niveau souhaité.