دیگر اجازه ندهید انرژی گرمایی هدر برود: چرا استفاده از عناصر IR پوشیده شده با طلا منطقی است؟
اگر تا به حال سعی کردهاید ویفرها را در داخل محفظههای ویژه گرم کنید، میدانید که چقدر این کار آزاردهنده است. شما انرژی زیادی را به لامپها میفرستید، اما بخش بزرگی از این انرژی هدر میرود. این انرژی به دیوارههای محفظه برخورد کرده، هوایی را که نیازی به گرم شدن ندارد، گرم میکند؛ در واقع، این انرژی ناپدید میشود.
لامپهای IR معمولی، انرژی گرمایی را در تمام جهات پرتاب میکنند؛ یعنی انرژی به صورت ۳۶۰ درجه پخش میشود. این بدان معناست که نیمی از انرژی گرانقیمت شما به سمت اشتباهی میرود.
ما این مشکل را با یک روش ساده حل کردیم: استفاده از لایه نازکی از طلا روی سطح پشتی عنصر IR.
چرا طلا؟
زیرا طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز بسیار مؤثر است؛ در واقع، درصد بازتاب بیش از ۹۸٪ است. با پوشاندن سطح پشتی عنصر IR، میتوانیم لامپ را به یک منبع گرمایی متمرکز تبدیل کنیم.
در عوض نور پراکنده، یک پرتو گرمایی به دست میآید. انرژی مستقیماً به سمت ویفر هدایت میشود؛ در نتیجه، چگالی گرمایی بسیار بالاتری حاصل میشود، بدون اینکه نیاز به افزایش میزان انرژی وجود داشته باشد. علاوه بر این، داخل محفظه نیز خنکتر میماند؛ که این موضوع برای همه مفید است.
نکته مهم درباره گرما:
از آنجایی که تمام انرژی در یک پرتو متمرکز شده، گرمای تولید شده بسیار زیاد است. زمان لازم برای گرم شدن ویفر نیز خیلی کوتاه است؛ اما این امر فشار زیادی بر الکترودهای لامپ وارد میکند.
نکته مهم این است که باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده به درستی کار میکنند. اگر سوکتها بیش از حد گرم شوند، اتصالات لامپ خراب خواهند شد، حتی قبل از اینکه رشتههای لامپ خراب شوند. حتماً جریان هوا را بررسی کنید؛ این کار میتواند از مشکلات بعدی جلوگیری کند.
نحوه نصب:
نیازی نیست کل سیستم خود را دوباره طراحی کنید. این عناصر به گونهای طراحی شدهاند که میتوان آنها را به راحتی جایگزین عناصر فعلی کرد. آنها به راحتی در سیستم IR فعلی شما جای میگیرند.
ما از اتصالات صنعتی استفاده میکنیم؛ زیرا اتصالات ناقص مشکلات زیادی ایجاد میکنند. اتصال محکم به معنای عدم کاهش ولتاژ و عدم وجود اختلالات الکتریکی است؛ در واقع، این روش کارایی بالاتری دارد.
بهترین بخش این است که میتوانید تفاوت را بلافاصله روی ویفر مشاهده کنید. «اثر لبه» تقریباً از بین میرود؛ دیگر نیازی نیست با مرکز گرم و لبههای سرد سروکار داشته باشید. این روش، روشی تمیزتر و کارآمدتر برای رسیدن به دمای مورد نظر است، بدون نیاز به منبع تغذیه جدید.