چرا ما به استفاده از روش التیام با امواج مادون قرمز در اتاقهای پاکسازی روی آوردیم؟
وقتی که در کارخانههای تولید تراشه کار میکنید، «پاکیزگی» فقط یک هدف نیست؛ بلکه همه چیز است. نمیتوانیم اجازه دهیم که حتی یک ذره گرد و غبار یا مقدار کمی باقیمانده مواد، کارایی ویفرها را مختل کند.
برای مدت طولانی، از فرهای هوای گرم برای این منظور استفاده میشد. اما مشکل اینجاست که این فرها در واقع فقط هوای گرم را در اطراف ویفرها پخش میکنند؛ این هوا حاوی ذرات مختلفی است، و میزان انرژی مورد نیاز برای گرم نگه داشتن یک جعبه فلزی بزرگ، واقعاً چشمگیر است.
به همین دلیل، ما به استفاده از گرمکنهای مادون قرمز روی آوردیم. در این روش، انرژی مستقیماً به سمت سطح ویفر ارسال میشود، به جای اینکه هوا گرم شود.
نحوه کارکرد آن:
فکر کنید که در یک روز سرد، در زیر نور خورشید ایستادهاید؛ ابتدا احساس نمیکنید که هوا گرم شده، بلکه احساس میکنید که گرما مستقیماً به پوست شما برخورد میکند. دقیقاً همین اتفاق اینجا نیز میافتد؛ تابش مادون قرمز به سطح ویفر برخورد کرده، مولکولها را به لرزه درمیآورد و در نتیجه گرما ایجاد میشود.
این روش بسیار سریع است. چون ما هوای گرم را روی ویفرها پخش نمیکنیم، لازم نیست نگران آلودگیهای ناشی از هوای گرم باشیم. علاوه بر این، این روش برای محیط زیست نیز مفیدتر است؛ چون ما از سیستمهای قدیمی که از سوختهای مختلف استفاده میکردند، خلاص شدهایم؛ این امر باعث میشود که بازرسیهای مربوط به محیط زیست کمتر استرسزا شود.
مشکلات موجود:
معمولاً از لامپهای مادون قرمز با موجهای کوتاه یا متوسط استفاده میکنیم. اگر بخواهیم مواد رزیست را در عرض چند ثانیه خشک کنیم، استفاده از لامپهای موج کوتاه بهترین راه است؛ زیرا انرژی بیشتری تولید میکنند.
اما باید مراقب باشیم؛ اگر بدون فکر، توان لامپ را بالا ببریم، ممکن است نقاط گرم بر روی ویفر ایجاد شود، یا حتی ویفر آسیب ببیند. بنابراین باید فاصله بین لامپ و ویفر را به درستی تنظیم کنیم. ما از کنترلکنندههای PID و حسگرهای دقیق برای حفظ تعادل استفاده میکنیم تا از خراب شدن قطعات گرانقیمت جلوگیری کنیم.
مزایا برای کسبوکار:
بهترین مزیت این روش، کاهش هزینههای برق است؛ چون دیگر نیازی نیست انرژی را صرف گرم کردن فضای خالی درون جعبه کنیم. این روش برای اکثر سیستمهای قدیمی، جایگزین مناسبی است؛ چون فضای کمتری را اشغال میکند، هزینههای انرژی کاهش مییابد، و ما میتوانیم بدون نگرانی، از قوانین زنجیره تأمین جهانی پیروی کنیم.