আপনার ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমটিকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা জরুরি।
যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুম চালান, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই জানেন কী করতে হয়। একটি ছোট্ট ধূলিকণা বা একটি ধাতব কণাই সবকিছু নষ্ট করতে যথেষ্ট। সেমিকন্ডাক্টর হিটিং-এর ক্ষেত্রে, হিটিং এলিমেন্টই সাধারণত সমস্যার উৎস। এটাই সামগ্রিক সিস্টেমে দূষণের সবচেয়ে বড় কারণ।
আমরা এটা থামানোর উপায় খুঁজে পেয়েছি। উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড ল্যাম্পগুলোকে বিশেষ ধরনের টেফলন (PTFE) ওয়্যারিংয়ের সাথে ব্যবহার করে আমরা গ্যাস নির্গমন ও ধাতব কণাগুলোকে রোধ করতে পেরেছি।
কোয়ার্টজের গুরুত্ব
আমরা সাধারণ কোয়ার্টজ ব্যবহার করি না; কারণ এটা যথেষ্ট পরিষ্কার নয়। উচ্চ তাপমাত্রায় সাধারণ কোয়ার্টজ থেকে অশুদ্ধি নির্গত হয়, আর যদি এগুলো ওয়েফারগুলোকে আঘাত করে, তাহলে অনেক মূল্যবান উপাদান নষ্ট হয়ে যায়।
তাই আমরা কৃত্রিম উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজ ব্যবহার করি। এই ল্যাম্পগুলো শর্টওয়েভ ইনফ্রারেড বিকিরণ ব্যবহার করে; ফলে শক্তি সরাসরি সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়। এর ফলে চারপাশের বাতাস গরম হয় না, ফলে ক্লিনরুমটি স্থিতিশীল ও আরামদায়ক তাপমাত্রায় থাকে।
ওয়্যারিং সম্পর্কে
ওয়্যারিংয়ের ক্ষেত্রে বিষয়টা হলো: PVC বা সিলিকন উচ্চ-তাপমাত্রার অবস্থায় কাজ করতে পারে না। তাপমাত্রা বেড়ে গেলে এগুলো থেকে ভোলাটাইল অর্গানিক কম্পাউন্ডস (VOCs) নির্গত হয়। ভ্যাকুয়াম চেম্বারে এটা কাঙ্ক্ষিত নয়।
তাই আমরা PTFE (টেফলন) জ্যাকেট ব্যবহার করি। এটা রাসায়নিকভাবে নিরপেক্ষ; এটা গলে যায় না, ক্রাঞ্চ হয় না, আর কোয়ার্টজ টিউব থেকে নির্গত তীব্র তাপের কোনো প্রভাবও এর উপর পড়ে না। এর ফলে বিদ্যুৎ সংযোগটি নির্ভরযোগ্য ও পরিষ্কার থাকে।
মনে রাখার কয়েকটি বিষয়
কিছুই নিখুঁত নয়; কিছু ত্যাগ স্বীকার করতে হয়।
PTFE সিলিকনের তুলনায় একটু শক্ত। এটাকে খুব শক্তভাবে বাঁকানো যায় না; নাহলে ওয়্যারটি ক্ষতিগ্রস্ত হয়। তাই কেবলগুলোকে একটু বেশি জায়গা দেওয়া দরকার—অর্থাৎ বাঁকানোর জন্য আরও বড় রেডিয়াস দরকার।
আর, যেহেতু এই ল্যাম্পগুলো অনেক তাপ উৎপন্ন করে, তাই ঠান্ডা করার ব্যবস্থাটি ঠিকমতো করা দরকার। যদি ল্যাম্পের দুই প্রান্ত খুব গরম হয়ে যায়, তাহলে সিলগুলো কাজ করা বন্ধ করে দেয়। ওয়্যারটি যতই ভালো হোক না কেন, যদি সিলগুলো কাজ না করে, তাহলে কোনো লাভ নেই।
আমরা এগুলোকে আপনার বর্তমান হিটারগুলোর জন্য সরল বিকল্প হিসেবে ডিজাইন করেছি। আমরা প্রথমেই পরিশুদ্ধতার দিকে মনোযোগ দিয়েছি; কারণ আপনার ক্ষেত্রে এটাই সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ।