ক্লিনরুমে ইনফ্রারেড হিটিং ব্যবহার করার কারণ
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন কেন্দ্রে কাজ করার সময় “পরিষ্কার” থাকা শুধুমাত্র একটি লক্ষ্য নয়—এটাই সবকিছু। ওয়েফারটিকে নষ্ট করার জন্য একটি ধূলিকণা বা অল্প পরিমাণ অবশিষ্টাংশও যথেষ্ট।
দীর্ঘদিন ধরে কনভেকশন ওভেনগুলোই ব্যবহৃত হয়ে আসছিল। কিন্তু সমস্যা হলো, এগুলো শুধুমাত্র গরম বাতাস ছড়ায়। সেই বাতাসে অনেক ধূলিকণা থাকে; আর একটি বড় ধাতব বাক্সকে গরম রাখতে অনেক বিদ্যুৎ প্রয়োজন হয়।
এই কারণেই আমরা ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করি। বাতাসকে গরম করার পরিবর্তে, ইনফ্রারেড হিটার শক্তিকে সরাসরি ওয়েফারে পাঠায়।
এটা কীভাবে কাজ করে?
ঠান্ডা দিনে সূর্যের নিচে দাঁড়িয়ে থাকার কথা ভাবুন। আপনি প্রথমে বাতাস গরম হওয়ার অনুভূতি পান না; বরং তাপ সরাসরি আপনার ত্বকে আঘাত করে। ঠিক একই কিছুই এখানে ঘটে। বিকিরণটি উপাদানটিকে আঘাত করে, ফলে অণুগুলো কম্পিত হয় এবং তাৎক্ষণিকভাবে তাপ সৃষ্টি হয়।
এটা খুবই দ্রুত।
যেহেতু আমরা ওয়েফারের উপর গরম বাতাস ছড়াই না, তাই আমাদের ক্রস-কন্টামিনেশন নিয়ে খুব বেশি চিন্তা করার দরকার নেই। আর এটা পরিবেশের জন্যও অনেক ভালো। আমরা পুরানো জ্বালানি-ভিত্তিক সিস্টেমগুলো বাদ দিয়েছি; কারণ সেগুলো থেকে বিষাক্ত গ্যাস নির্গত হতো। এতে পরিবেশগত পরীক্ষাগুলো অনেক সহজ হয়ে যায়।
কিছু ঝুঁকি
আমরা সাধারণত শর্ট-ওয়েভ বা মিডিয়াম-ওয়েভ ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি। যদি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই ফটোরেসিস্ট বা রেজিনগুলোকে শুকানো দরকার হয়, তাহলে শর্ট-ওয়েভ ল্যাম্পই সবচেয়ে ভালো।
কিন্তু সাবধান থাকতে হবে। যদি অবিবেচনার সাথে ওয়াটেজ বাড়ানো হয়, তাহলে “হট স্পট” তৈরি হতে পারে; অথবা ওয়েফারটি নষ্ট হয়ে যেতে পারে। এটা একটি ভারসাম্যপূর্ণ প্রক্রিয়া। ল্যাম্প ও ওয়েফারের মধ্যকার দূরত্বটি সঠিক রাখতে হয়। আমরা PID কন্ট্রোলার ও প্রিসিশন সেন্সর ব্যবহার করি, যাতে কোনো দামি উপাদান নষ্ট না হয়।
ব্যবসার দৃষ্টিকোণ থেকে
সবচেয়ে ভালো দিক হলো বিদ্যুৎ খরচ। আপনি বাক্সের ভিতরের খালি জায়গাগুলোকে গরম করার জন্য কিলোওয়াট বিদ্যুৎ নষ্ট করা বন্ধ করে দেন; বরং সেই শক্তিটিকে সরাসরি ওয়েফারে ব্যবহার করেন।
এটা পুরানো কনভেকশন সিস্টেমগুলোর তুলনায় খুবই সহজ। আপনি জায়গা সাশ্রয় করেন, বিদ্যুৎ খরচ কমে যায়; আর আপনি বিশ্বব্যাপী সরবরাহ শৃঙ্খলার নিয়মগুলো মেনে চলতে পারেন।