ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। যখন সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলোকে উত্তপ্ত করা হয়, তখন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করাই যথেষ্ট নয়। ক্লাস ১০০ পরিবেশে একটি ছোট্ট ধূলিকণাও পুরো চিপগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। এটা খুবই ভয়ঙ্কর। এজন্যই আমরা ধাতব আবরণযুক্ত হিটারগুলো ব্যবহার করা বন্ধ করে দিয়েছি—কারণ এগুলো থেকে অতিরিক্ত গ্যাস নির্গত হয়। আমরা উচ্চ-পরিশোধিত কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি।
কেন কোয়ার্টজ?
আমরা কৃত্রিম ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি; কারণ এটা অনেক ভালোভাবে কাজ করে। সাধারণ কাঁচ গরম হলেই ভেঙে যায় বা অশুদ্ধি নির্গত হয়; কিন্তু কোয়ার্টজ স্থিতিশীল থাকে। ইনফ্রারেড রশ্মি কোয়ার্টজের মধ্য দিয়ে সরাসরি যায়, আর চারপাশের বায়ুতে কোনো প্রভাব ফেলে না। এটা খুবই পরিষ্কার। শুধুমাত্র তাপই শিল্ডে পৌঁছায়। কোনো ধূলিকণা বা অশুদ্ধি ওয়েফারে পড়ে না।
এগুলোকে সেটআপে ব্যবহার করা
আমরা এই ল্যাম্পগুলো থেকে সব ধরনের অপ্রয়োজনীয় অংশগুলো অপসারণ করেছি। লক্ষ্য ছিল কম জায়গা ব্যবহার করে কোনো দূষণ না হওয়া। আমরা উচ্চ-মানের কোয়ার্টজ সিলও ব্যবহার করেছি, যাতে অভ্যন্তরীণ হ্যালোজেন চক্র থেকে কিছুই বের না হয়।
কিন্তু সাবধান থাকতে হবে…
পাওয়ার ঘনত্ব নিয়ে সাবধান থাকতে হবে। এই ল্যাম্পগুলো খুব ছোট জায়গায় অত্যন্ত উত্তপ্ত হয়। যদি ঠিকমতো কুলিং ব্যবস্থা না থাকে, তাহলে সমস্যা হতে পারে। যদি গরম অংশ ও ঠান্ডা অংশের মধ্যে তাপমাত্রার পার্থক্য খুব বেশি হয়, তাহলে কোয়ার্টজটি থার্মাল শকের কারণে ভেঙে যেতে পারে।
কীভাবে এগুলো ব্যবহার করবেন?
এই ল্যাম্পগুলো অ্যানিলিং ও কিউরিং প্রক্রিয়ার জন্য অত্যন্ত উপযোগী। কারণ পুরানো ধরনের হিটারগুলো এখানে কাজ করতে পারে না। যেহেতু কোনো ভৌত সংস্পর্শ নেই, তাই আপনাকে আপনার যন্ত্রাংশগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হওয়া নিয়ে চিন্তা করতে হবে না।
সেটআপ করা খুবই সহজ। শুধুমাত্র এগুলোকে PID কন্ট্রোলারের সাথে সংযুক্ত করলেই হবে। আপনি দেখবেন যে তাপমাত্রা দ্রুত বৃদ্ধি পায়; আর থার্মাল প্রোফাইলগুলোও স্থিতিশীল থাকে।
আরেকটি টিপ: আপনার পাওয়ার সাপ্লাইটি নিয়ে সাবধান থাকুন। নিশ্চিত হোন যে এটা স্থিতিশীল। হঠাৎ ভোল্টেজ বৃদ্ধি হলে উচ্চ-পরিশোধিত টিউবের ফিলামেন্টটি দ্রুত নষ্ট হয়ে যেতে পারে।