Đèn sưởi loại bỏ độ ẩm trên wafer

Trên sàn sản xuất, độ ẩm trên bề mặt wafer không đứng yên chờ đợi. Nó làm sai lệch hình dáng photoresist, phá vỡ các kích thước quan trọng và tạo ra...