Sản xuất đèn hồng ngoại sợi carbon

Tue, 09 Jun 2026 01:09:56 +0800

Trên sàn fab, sự lệch 0.5°C trong nhiệt độ nướng sẽ làm thay đổi độ thiên lệch kích thước quan trọng theo nanomet. Nướng mềm và nướng cứng không chỉ là các bước nhiệt—chúng là những cam kết về kích thước. Nếu đèn hoạt động kém, lô hàng sẽ phải trả giá.

Điều gì quan trọng, về mặt kỹ thuật
Bộ phát hồng ngoại bằng sợi carbon cung cấp nhiệt bức xạ nhanh, ổn định với kiểm soát quang phổ chặt chẽ, ngay nơi polymer hấp thụ trong vùng hồng ngoại gần. Trên toàn bộ wafer, độ đồng nhất nhiệt giữ ở ±0.1°C, vì vậy độ dày phim từ viền đến trung tâm vẫn trong giới hạn kỹ thuật. Thời gian làm nóng đến điểm thiết lập chỉ mất vài giây, và độ lặp lại nằm trong khoảng đơn số mili giây—ngân sách nhiệt giữ ổn định từ lô này sang lô khác. Thân đèn được thiết kế cho các phòng sạch lớp 1-100, sử dụng vật liệu thải ra thấp và hình dạng tối thiểu hóa hạt bụi, giữ cho số lượng khuyết tật giảm xuống.

Đèn sưởi loại bỏ độ ẩm trên wafer

Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800

Trên sàn sản xuất, độ ẩm trên bề mặt wafer không đứng yên chờ đợi. Nó làm sai lệch hình dáng photoresist, phá vỡ các kích thước quan trọng và tạo ra các khuyết tật không thể sửa lại. Trong quá trình chiếu khắc và xử lý photoresist, việc soft bake và hard bake không chỉ là chu trình gia nhiệt—mà còn là quá trình loại bỏ độ ẩm, quyết định hiệu suất sản xuất.

Đèn Bàn on Maximum Warmth Infrared Heaters

Sản xuất đèn hồng ngoại sợi carbon

Đèn sưởi loại bỏ độ ẩm trên wafer