http://ir-heater-warm-max.com/uk/tags/removal/ Recent content in Removal on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo uk Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/uk/posts/wafer-moisture-removal-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Лампа для нагріву видалення вологи з пластини"></p> <p>На виробничому майданчику волога на поверхні пласти не залишається без дії. Вона порушує профілі фотораезисту, викривляє критичні розміри та ініціює дефекти, які неможливо виправити. У литографії та обробці фотораезисту м’яке й жорстке випікання — це не просто теплові цикли, а процеси видалення вологи, що визначають вихід продукції.</p> <p><strong>Що важливо всередині</strong></p> <p>Ми розробили нагрівальну лампу для видалення вологи з пластин на основі галогенових елементів короткохвильового інфрачервоного діапазону (SWIR) у кварцовій оболонці, налаштованих на швидкий, локалізований нагрів із рівномірністю на рівні пластини ±0.1°C. Система надійно підтримує задані параметри для випікання фотораезисту, що дозволяє точно контролювати тепловий бюджет по всій партії. Відповідність чистим приміщенням врахована в конструкції: матеріали і монтаж відповідають класу 1–100, що забезпечує низький рівень утворення часток, а вузол лампи розрахований на безперервну роботу 24/7 без планових простоїв. Стабільність вихідної потужності вимірюється, а не оцінюється приблизно — модулі зберігають постійну ілюмінацію понад 5,000 годин експлуатації зі зсувом менше 5%.</p>