Вафля on Maximum Warmth Infrared Heaters

Високоефективна лампа для сушіння пластин

Thu, 02 Jul 2026 03:25:57 +0800

На виробничій лінії відхилення температури на рівні 0,1°C під час процедур м’якого чи жорсткого висушування не є дрібною деталлю у технічних характеристиках пристрою. Це призводить до зниження якості продукції. Коли температурна однорідність порушується, профілі розташування фотополімерних матеріалів швидко змінюються, що призводить до втрат продукції та необхідності її переробки. Високоефективні нагрівачі забезпечують контроль над температурою на потрібному рівні.

Ми використовуємо галогенні випромінювачі короткохвильового інфрачервоного світла, призначені для контролю температури на рівні під міліметр. Це забезпечує однорідність температури по всій поверхні пластини, а не лише в її центрі. Стабільність температури на заданому рівні дозволяє зберігати константність профілів під час процедур висушування. Ефективність нагрівачів зберігається протягом тисяч годин, що дозволяє уникнути відхилень та підтримувати стабільність процесу.

Сушарка для пластин у ближньому інфрачервоному діапазоні (NIR)

Mon, 08 Jun 2026 02:47:37 +0800

На літіографічному майданчику лінія продовжує рухатися, незалежно від того, чи налаштований ваш профіль випікання. Відхилення м’якого випікання проявляється як розсіювання CD. Нерівномірність жорсткого випікання руйнує цілісність малюнка, і кремнійова пластина в кінцевому підсумку платить за кожен градус, на який контролю температури відхиляється.

Що ми побудували і чому це важливо
Ми розмістили сушарку NIR для пластин навколо нагрівання в ближньому інфрачервоному діапазоні, налаштовану на прямий викид енергії в фоточутливий матеріал і підкладку. Результат - однорідність пластини на рівні ±0.1°C, з повторюваними температурними профілями під час м’якого та жорсткого випікання. Вона працює в чистих приміщеннях класу 1–100, не підвищуючи кількість часток, і немає викидів часток безпосередньо в точці нагрівання. Надійність закладена в режим роботи 24/7, без непередбачених простоїв протягом кількох виробничих змін.

Лампа для нагріву видалення вологи з пластини

Sat, 06 Jun 2026 01:18:13 +0800

На виробничому майданчику волога на поверхні пласти не залишається без дії. Вона порушує профілі фотораезисту, викривляє критичні розміри та ініціює дефекти, які неможливо виправити. У литографії та обробці фотораезисту м’яке й жорстке випікання — це не просто теплові цикли, а процеси видалення вологи, що визначають вихід продукції.

Що важливо всередині

Ми розробили нагрівальну лампу для видалення вологи з пластин на основі галогенових елементів короткохвильового інфрачервоного діапазону (SWIR) у кварцовій оболонці, налаштованих на швидкий, локалізований нагрів із рівномірністю на рівні пластини ±0.1°C. Система надійно підтримує задані параметри для випікання фотораезисту, що дозволяє точно контролювати тепловий бюджет по всій партії. Відповідність чистим приміщенням врахована в конструкції: матеріали і монтаж відповідають класу 1–100, що забезпечує низький рівень утворення часток, а вузол лампи розрахований на безперервну роботу 24/7 без планових простоїв. Стабільність вихідної потужності вимірюється, а не оцінюється приблизно — модулі зберігають постійну ілюмінацію понад 5,000 годин експлуатації зі зсувом менше 5%.