Як підтримувати чистоту в приміщенні класу 100
Якщо ви керуєте приміщенням класу 100, ви знаєте, які труднощі існують. Одна-єдина крихта пилу чи металевий шматочок можуть зруйнувати все. Що стосується нагріву напівпровідників, то саме елемент нагріву є джерелом проблем. Це часто найбільше джерело забруднення в усій системі.
Ми знайшли спосіб цього уникнути. Шляхом поєднання інфрачервоних ламп високої чистоти з спеціалізованими кабелями з ПТФЕ ми фактично запобігаємо випаровуванню речовин та утворенню крихт.
Чому важлива чистота кварцу
Ми не використовуємо звичайний кварц – він просто недостатньо чистий. При високих температурах дешевий кварц може виділяти домішки, а якщо вони потрапляють на пластини, це призводить до втрати матеріалу.
Замість цього ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти. Ці лампи використовують короткохвильове інфрачервоне випромінювання, що є перевагою – енергія потрапляє безпосередньо в матеріал. Це не спричиняє нагрівання повітря навколо, тож температура в приміщенні залишається стабільною та комфортною.
Проблеми з кабелями
Щодо кабелів: PVC чи силікон просто не підходять для використання в умовах високих температур. Коли вони досягають своїх обмежень, вони починають виділяти леткі органічні сполуки. Це зовсім не те, що потрібно в вакуумній камері.
Тож ми використовуємо кабелі з ПТФЕ. Вони хімічно інертні – вони не плавляться, не утворюють крихт та не піддаються впливу високих температур. Таким чином досягається надійне електричне з’єднання.
Кілька порад
Ніщо не є ідеальним. Існують певні компроміси. ПТФЕ є трохи жорсткішим за силікон. Його не можна просто зігнути в тупий кут – це може пошкодити кабель. Потрібно залишати достатньо простору для згинів кабелів.
Крім того, оскільки ці лампи виробляють багато тепла, необхідно правильно організувати систему охолодження. Якщо кінці лампи стануть занадто гарячими, ущільнення можуть пошкодитися. Не має значення, наскільки якісні кабелі, якщо ущільнення не справляється зі своїми функціями.
Ми розробили ці лампи так, щоб вони могли замінити ваші поточні нагрівачі. Ми зосередилися на чистоті матеріалів – адже саме це є найважливішим у вашій сфері.