Neden Temiz Oda Ortamında Kızılötesi Isıtma Sistemlerini Kullandık?
Yarı iletken üretim tesislerinde çalışırken “temizlik” sadece bir hedef değil, her şeydir. Wafer’leri bozabilecek tek bir toz parçası bile kabul edilemez.
Uzun süre boyunca en yaygın kullanılan yöntem konveksiyon fırınlarıydı. Ancak buradaki sorun şu: Bu cihazlar aslında sadece sıcak havayı etrafa üfler. Bu hava içinde partiküller bulunur ve devasa metal kutuları sıcak tutmak için gereken enerji miktarı gerçekten de inanılmaz derecede yüksektir.
İşte bu yüzden kızılötesi ısıtıcıları tercih ettik. Kızılötesi ısıtıcılar, havayı ısıtmak yerine enerjiyi doğrudan yüzeye ileterek ısı üretir.
Nasıl Çalışır?
Bunu, soğuk bir günde güneşin altında durmak gibi düşünün. Önce havanın ısındığını hissetmezsiniz; doğrudan cildinizin ısındığını hissedersiniz. İşte burada da aynı şey olur. Radyasyon malzemeye çarpar, molekülleri titreştirir ve böylece anında ısı oluşur.
Bu işlem çok hızlıdır. Gerçekten çok hızlı.
Sıcak havayı wafer’in üzerine püskürtmediğimiz için, çapraz kontaminasyon konusunda endişelenmemize gerek kalmaz. Ayrıca bu yöntem gezegen için de daha dostane bir seçenektir. Kötü VOC’ler üreten eski yakıt tabanlı sistemlerden vazgeçtik; bu da çevre denetimlerini çok daha kolay hale getirdi.
Zorluklar
Genellikle kısa dalga veya orta dalga kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Eğer fotoresistleri veya reçineleri birkaç saniye içinde kurutmak istiyorsanız, kısa dalga lambalar en iyi seçenektir.
Ancak dikkatli olmak gerekiyor. Eğer wattajı düşünmeden artırırsanız, “sıcak noktalar” oluşabilir veya daha kötüsü wafer yanabilir. Bu yüzden lamba ile wafer arasındaki mesafeyi doğru ayarlamak önemlidir. Pahalı parçaların zarar görmemesi için PID kontrol cihazları ve hassas sensörler kullanıyoruz.
İş açısından en iyi yanı ne?
En iyi yanı elektrik faturasıdır. Artık boş alanları ısıtmak için binlerce watt enerji harcamıyorsunuz; bu enerjiyi doğrudan parçaların üzerine yönlendiriyorsunuz.
Çoğu eski konveksiyon sistemiyle karşılaştırıldığında bu oldukça kolay bir değişikliktir. Daha az alan kullanılır, enerji maliyetleri düşer ve küresel tedarik zincirinin kurallarına uyulmuş olur.