ในกระบวนการตรวจสอบ ความแตกต่างของอุณหภูมิ 0.5°C ถือเป็นความแตกต่างระหว่างแผ่นวัสดุที่ผ่านเกณฑ์การตรวจสอบได้กับแผ่นวัสดุที่ไม่ผ่านเกณฑ์ อุณหภูมิของแผ่นวัสดุมีผลต่อสัญญาณที่ได้ และยังเป็นตัวกำหนดพื้นหลังของสัญญาณ รวมถึงมีผลต่อพฤติกรรมของสารโฟโตเรซิสต์ภายใต้เลนส์ด้วย หากเครื่องทำความร้อนไม่สามารถควบคุมอุณหภูมิได้ ก็จะส่งผลให้ประสิทธิภาพในการผลิตลดลง และอาจทำให้แผนการผลิตล่มได้
สิ่งที่เรานำมาใช้ในเครื่องทำความร้อนสำหรับการตรวจสอบ
เราเลือกใช้องค์ประกอบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น พร้อมกับโครงสร้างทำความร้อนที่ทำจากควอตซ์ เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิของแผ่นวัสดุให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ได้ การตั้งค่าอุณหภูมิสามารถทำได้ภายในเวลาไม่เกิน 200 มิลลิวินาที ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาเรื่องความล่าช้าในการตรวจสอบ การควบคุมอุณหภูมิทำได้ผ่านเซ็นเซอร์ที่ได้รับการปรับแต่งมาอย่างดี ไม่ใช่การคาดเดาจากอุณหภูมิของตัวเครื่องเอง วัสดุที่ใช้มีคุณสมบัติเหมาะสมสำหรับห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 โดยมีการปล่อยก๊าซน้อยมาก และไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ เลย ตามที่ได้รับการยืนยันจากการวัดในสถานที่จริง เครื่องนี้สามารถทำงานได้ด้วยแรงดันไฟฟ้า 110–240 VAC และสามารถเชื่อมต่อกับเครื่องมืออื่นๆ ได้อย่างง่ายดาย
สิ่งที่ควรจะจดจำไว้
ประสิทธิภาพของเครื่องขึ้นอยู่กับรูปร่างของห้องทดลองและความสามารถในการระบายความร้อน ดังนั้นจึงจำเป็นต้องปรับตำแหน่งของบริเวณที่ทำความร้อนให้อยู่ในระนาบเดียวกับแผ่นวัสดุตอนติดตั้ง ควรมีการวัดอุณหภูมิเพียงครั้งเดียวหลังจากการเปลี่ยนอุปกรณ์ เพื่อสร้างตารางค่าชดเชยความแตกต่างของอุณหภูมิ หากความชื้นในอากาศเปลี่ยนแปลงอย่างรุนแรง ควรให้เวลากับระบบสักครู่เพื่อให้อุณหภูมิกลับมาสม่ำเสมอก่อนที่จะกำหนดค่ามาตรฐานสำหรับการตรวจสอบ