http://ir-heater-warm-max.com/ru/tags/%D1%84%D0%BE%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B5%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82/ Recent content in Фоторезист on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ru Thu, 04 Jun 2026 00:58:30 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 00:58:30 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ru/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Лампа для запекания фоторезиста"></p> <p>На производственном этаже с пластинами вы знаете, как обстоят дела — отклонение в полградуса в профиле мягкой сушки достаточно, чтобы сместить критическое размерное отклонение и списать целую партию. Мы разработали эту лампу для запекания фоторезиста, чтобы исключить эту переменную из уравнения. Она обеспечивает повторяемое нагревание точно в том месте, где резисту это нужно, и именно в нужное время, без увеличения риска загрязнения частицами и теплового шума.</p> <p><strong>Что важно внутри</strong></p> <p>Система основана на коротковолновых инфракрасных галогенных излучателях в кварцевом корпусе, настроенных на полосу поглощения фоторезиста, что обеспечивает быстрый нагрев поверхности в первую очередь. В зоне запекания равномерность температуры на уровне пластины держится в пределах ±0.1°C, поэтому профиль от края к центру стабилен из партии в партию. Совместимость с чистыми помещениями класса 1–100 достигается благодаря герметичному модулю лампы, материалам с низким выделением газов и каналу отвода, который исключает образование частиц. Повторяемость заявлена на уровне ±0.2°C более чем на 5,000 часов работы с постоянным контролем выходной мощности, чтобы тепловой бюджет не смещался.</p>