http://ir-heater-warm-max.com/ru/tags/%D0%B8%D0%BA%D1%80/ Recent content in (ИКР) on Maximum Warmth Infrared Heaters Hugo ru Mon, 08 Jun 2026 02:47:37 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ru/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Mon, 08 Jun 2026 02:47:37 +0800 http://ir-heater-warm-max.com/ru/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-warm-max.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Близкоинфракрасная (БИК) сушилка для пластин"></p> <p>На литографическом этаже линия продолжает работать независимо от того, точно ли настроен ваш профиль запекания или нет. Дрейф мягкого запекания проявляется в разбросе CD. Неоднородность жёсткого запекания нарушает целостность рисунка, и подложка в конечном итоге «платит» за каждый градус, на который не попадает температурный контроль.</p> <p><strong>Что мы разработали и почему это важно</strong><br> Мы создали сушилку для подложек с ИК-обогревом, которая использует инфракрасное излучение в ближнем ИК-диапазоне, настроенное на прямое нагревание фоторезиста и подложки. Результатом стала стабильность температуры на уровне подложки с разбросом не более ±0,1°C, с воспроизводимым температурным профилем как для мягкого, так и для жёсткого запекания. Устройство функционирует в чистых помещениях класса 1–100 без увеличения количества частиц, при этом отсутствуют выбросы частиц непосредственно в зоне нагрева. Надёжность обеспечена для круглосуточной непрерывной работы без внеплановых простоев на нескольких производственных сменах.</p>