Драер on Maximum Warmth Infrared Heaters

Цифровой контроллер инфракрасной сушилки

Fri, 17 Jul 2026 01:57:42 +0800

Перестаньте угадывать параметры нагрева: почему цифровые инфракрасные контроллеры действительно важны
Если вы хотите создать «умную» производственную линию, нельзя просто заменить старые нагреватели и считать, что все готово. Это как установить новый двигатель в автомобиль, но оставить сломанное руль. Необходима система, которая будет взаимодействовать с вашим ПЛК.

Использование цифровых инфракрасных контроллеров позволяет избавиться от подхода «настроил — забыл». Теперь вы можете видеть в реальном времени, что происходит внутри оборудования.

Больше никаких ошибок в регулировании температуры
Мы все сталкивались с такими старыми аналоговыми контроллерами. Их необходимо настраивать вручную, и они постоянно дают ошибки. В результате температура может сильно меняться. Это вызывает много проблем. Мы разработали цифровые контроллеры, чтобы решить эту проблему.

Высокоэффективный сушильный элемент для пластин

Thu, 02 Jul 2026 03:25:57 +0800

На производственной линии отклонение температуры в размере 0,1°C во время процедур мягкой или жесткой обработки не является незначительным фактором, о котором можно просто упомянуть в технической документации. Это приводит к снижению качества продукции. Когда тепловая однородность нарушается, профили распределения температуры изменяются быстро, что влечет за собой потери и необходимость повторной обработки материалов. Высокоэффективные нагревательные элементы позволяют поддерживать температуру на нужном уровне.

Мы используем галогеновые излучатели с коротковолновым инфракрасным излучением, предназначенные для контроля температуры на уровне субмиллиметров. Благодаря этому достигается однородность температуры по всей поверхности пластины, а не только в ее центральной части. Температура стабильна в заданных значениях, без значительных отклонений, поэтому профили температуры при мягкой и жесткой обработке остаются стабильными из партии в партию. Работа нагревательных элементов сохраняется стабильной в течение тысяч часов, что снижает отклонения и способствует поддержанию высокого уровня качества производства.

Близкоинфракрасная (БИК) сушилка для пластин

Mon, 08 Jun 2026 02:47:37 +0800

На литографическом этаже линия продолжает работать независимо от того, точно ли настроен ваш профиль запекания или нет. Дрейф мягкого запекания проявляется в разбросе CD. Неоднородность жёсткого запекания нарушает целостность рисунка, и подложка в конечном итоге «платит» за каждый градус, на который не попадает температурный контроль.

Что мы разработали и почему это важно
Мы создали сушилку для подложек с ИК-обогревом, которая использует инфракрасное излучение в ближнем ИК-диапазоне, настроенное на прямое нагревание фоторезиста и подложки. Результатом стала стабильность температуры на уровне подложки с разбросом не более ±0,1°C, с воспроизводимым температурным профилем как для мягкого, так и для жёсткого запекания. Устройство функционирует в чистых помещениях класса 1–100 без увеличения количества частиц, при этом отсутствуют выбросы частиц непосредственно в зоне нагрева. Надёжность обеспечена для круглосуточной непрерывной работы без внеплановых простоев на нескольких производственных сменах.

Изготовление сушилки для пленки сепаратора аккумулятора

Wed, 03 Jun 2026 01:32:20 +0800

В круглосуточном режиме работы линии не останавливаются ни для кого. Одна тепловая аномалия во время сушки сепараторной плёнки для аккумуляторов не только снижает производительность — она может нарушить адгезию фоторезиста, привести к переносу растворителя и снизить выход продукции по всему литографическому кластеру.
Основой этого сушильного устройства служит термическая дисциплина. Массивы средневолновых инфракрасных излучателей быстро прогревают wafer без контакта, обеспечивая однородность на уровне ±0,1°C. Устройство работает в классах чистоты Class 1–100 с нулевым образованием частиц, что контролируется в режиме in-situ. Заданные параметры мягкого и твёрдого запекания обеспечивают воспроизводимость лучше ±0,5°C из цикла в цикл — и таких циклов миллионы. Результатом является контролируемый тепловой бюджет, сохраняющий целостность плёнки и чистоту интерфейса.
Надёжность здесь не просто заявляется — она заложена в конструкцию. Сушилка работает круглосуточно без незапланированных простоев, поддерживается резервным модулем излучателя с возможностью горячей замены и логикой предиктивного обслуживания. Управление мощностью по замкнутому контуру поддерживает потребление энергии в пределах нормы без снижения скорости нагрева. Вы получаете стабильную сушку плёнок, предсказуемые профили запекания и меньше брака — что повышает загрузку оборудования и снижает себестоимость wafer.
При установке потребуется выделенная линия питания 208–240V и проверенная система удаления паров растворителя. Сушилка интегрируется с существующими трек-установками, однако необходимо запланировать короткий этап наладки для калибровки теплового профиля под вашу структуру плёнки и систему растворителей. До начала массового производства следует заложить 48-часовой квалификационный прогон для фиксации рабочего процесса.