Sensor de temperatura para ferramenta de wafer

Sun, 12 Jul 2026 05:56:12 +0800

Como utilizar a tecnologia de imagem termográfica corretamente em suas ferramentas de processamento de wafers

Se você está tentando adotar métodos mais eficientes em sua fábrica, provavelmente já percebeu que os termômetros convencionais não são mais adequados para essa tarefa. Eles são lentos. Além disso, tocar o wafer representa um risco desnecessário.

É por isso que passamos a usar sistemas infravermelhos de alta velocidade. Podemos obter mapas térmicos em tempo real, sem precisar tocar na superfície do wafer. Sem contaminação, sem estresse mecânico – apenas dados precisos.

Aquecedor para ferramentas de inspeção de semicondutores

Fri, 03 Jul 2026 03:24:42 +0800

Na linha de inspeção, uma variação de 0,5°C representa a diferença entre um padrão que consegue passar pela inspeção e outro que não consegue. A temperatura da wafer influencia o sinal gerado, define o “plano de fundo” do sinal e determina como o fotorresistente se comporta sob a lente. Se o aquecedor não conseguir manter a temperatura estável, não só haverá perda de produtividade, mas também o cronograma de produção será afetado.

O que incluímos no aquecedor de inspeção
Utilizamos elementos infravermelhos de onda curta e um sistema térmico baseado em quartzo, para alcançar uma uniformidade da temperatura na ordem de ±0,1°C. Os pontos de ajuste da temperatura são estabelecidos em menos de 200 ms, evitando assim atrasos nas medições em alta velocidade. O controle é feito por meio de sensores calibrados localizados na área quente, e não com base na temperatura do gabinete. Os materiais utilizados são compatíveis com ambientes de classe 1–100, com baixa emissão de gases e sem geração de partículas, conforme verificado por medições in situ. A plataforma funciona com tensão de 110–240 VAC e se integra facilmente às interfaces dos equipamentos, com conexões padronizadas.

```Python on Maximum Warmth Infrared Heaters

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