Secador de wafers por infravermelho próximo (NIR)
No piso de litografia, a linha continua em movimento independentemente de o perfil de bake estar ajustado ou não. A deriva no soft bake se manifesta...
Lâmpada de aquecimento para remoção de umidade do wafer
No chão da fábrica, a umidade na superfície do wafer não fica esperando. Ela interfere nos perfis de fotoresiste, altera dimensões críticas e gera...