Fábrica de secagem de filme separador de bateria

Wed, 03 Jun 2026 01:32:20 +0800

Em uma fábrica 24/7, a linha não para para ninguém. Uma excursão térmica durante a secagem do filme separador de bateria não apenas reduz a produtividade—pode comprometer a adesão do fotorresiste, deixar resíduos de solvente e afetar o rendimento em todo o cluster de litografia.

O que construímos este forno em torno é a disciplina térmica. Arrays de emissores infravermelhos de onda média atingem a pastilha rapidamente, sem contato, mantendo a uniformidade ao nível da pastilha em ±0,1°C. Opera em salas limpas Classe 1–100 sem geração de partículas, e verificamos isso in situ. Os pontos de ajuste para soft bake e hard bake mantêm repetibilidade melhor que ±0,5°C, ciclo após ciclo—milhões deles. O resultado é um orçamento térmico controlado que preserva a integridade do filme e a limpeza das interfaces.

Filme on Maximum Warmth Infrared Heaters

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