Infravermelho versus convecção para secagem de wafers

Wed, 24 Jun 2026 01:10:12 +0800

Na fábrica, um wafer que sai da etapa final de limpeza não pode ter nem mesmo um micrômetro de marca d’água em sua superfície. Os fornos de convecção passam seu tempo tentando manter uma temperatura uniforme ao longo do substrato; cada tentativa influencia diretamente na qualidade do produto final. O secamento por IR muda essa dinâmica.

O que realmente importa, tecnicamente
O IR atinge diretamente a água presente na superfície do wafer, aquecendo-a sem precisar transferir calor para o ar dentro do forno. Isso garante uma uniformidade térmica de até ±0,1°C – sem os problemas relacionados às diferenças de temperatura entre as bordas e o centro do wafer, que são comuns nos sistemas de convecção. O IR de ondas curtas oferece energia rápida e controlada, o que é essencial para processos de cura seguros para o fotoresistente. Já o IR de ondas médias permite maior controle térmico, sem causar excessos de temperatura.

Convecção on Maximum Warmth Infrared Heaters

Infravermelho versus convecção para secagem de wafers