Grzejnik narzędzia do inspekcji półprzewodników

Fri, 03 Jul 2026 03:24:42 +0800

Na linii inspekcji różnica temperatury wynosząca 0,5°C oznacza różnicę pomiędzy elementem, który przecina próbkę bez żadnych problemów, a tym, który spada na powierzchnię podłoża. Temperatura płytki wpływa na sygnał, określa tło pomiarowe oraz decyduje o zachowaniu się fotorezystu pod obiektywem. Jeśli grzejnik nie potrafi utrzymać ustalonej temperatury, to nie tylko spada wydajność produkcji, ale także zostaje zakłócony cały proces produkcji.

To, co zastosowaliśmy w grzewcy do inspekcji
Wybraliśmy elementy nadfioletowe o krótkich falach oraz układ cieplny na bazie kwarcu, aby uzyskać jednorodność temperatury na poziomie płytki w przedziale ±0,1°C. Ustalenie wartości temperatury następuje w ciągu mniej niż 200 ms, więc opóźnienia termiczne nie wpływają na szybkie pomiary. Kontrola odbywa się w zamkniętym obiegu, przy użyciu kalibrowanego czujnika umieszczonego w obszarze podgrzewania, a nie na podstawie temperatury obudowy. Materiały użyte do budowy grzewcy są dostosowane do warunków panujących w salach czystych klasy 1–100; charakteryzują się niską emisją gazów i brakiem pyłu, co potwierdzają pomiary przeprowadzane na miejscu. Grzewnik funkcjonuje przy napięciu 110–240 VAC i może być podłączony do standardowych interfejsów narzędzi, dzięki czemu zapewnia spójność pomiarów.

Inspekcja on Maximum Warmth Infrared Heaters

Grzejnik narzędzia do inspekcji półprzewodników