Jak utrzymać salę czystą klasy 100 naprawdę czystą
Jeśli zarządzasz salą czystą klasy 100, znasz zasady. Jeden mały pyłek lub pojedynczy kawałeczek metalu wystarczy, by wszystko zepsuć. Jeśli chodzi o podgrzewanie półprzewodników, problem zazwyczaj zaczyna się od elementu grzejnego. To często największe źródło zanieczyszczeń w całym układzie. Znaleźliśmy sposób, by temu zapobiec. Poprzez połączenie lamp infraczerwonych z kwarcu o wysokiej czystości z specjalnymi przewodami z Teflonu (PTFE), w zasadzie zamknęliśmy drogę uwalnianiu się gazów i skrapień.
Dlaczego kwarc jest ważny
Nie używamy zwykłego kwarcu. Po prostu nie jest wystarczająco czysty. Przy wysokich temperaturach ta tańsza materiał może uwalniać zanieczyszczenia, a jeśli trafią one na płytki, mamy do czynienia z dużą ilością zmarnowanego materiału. Zamiast tego używamy syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości. Te lampy wykorzystują promieniowanie infraczerwone krótkofalowe, co jest świetne, ponieważ energia trafia bezpośrednio do podłoża. Nie nagrzewa to powietrza wokół niego, dzięki czemu sala czysta pozostaje przy stałej, komfortowej temperaturze.
Sprawa z przewodami
Oto problem z przewodami: PVC czy silikon po prostu nie nadają się do pracy w strefach o wysokiej temperaturze. Gdy osiągną swój limit, zaczynają uwalniać lotne związki organiczne (VOC). To zdecydowanie nie jest to, czego potrzebujesz w komorze próżniowej. Dlatego używamy osłon z PTFE (Teflonu). Jest chemicznie obojętny. Nie topi się, nie pęka i nie reaguje na intensywne ciepło wydzielane przez rurkę kwarcową. Dzięki temu uzyskujemy stabilne połączenie elektryczne, które pozostaje czyste i nieszkodliwe.
Kilka rzeczy, o których należy pamiętać
Nic nie jest doskonałe. Istnieją pewne kompromisy. PTFE jest nieco twardszy od silikonu. Nie można go po prostu zagiąć w ostry kąt, bo to powoduje obciążenie przewodu. Trzeba dać przewodom trochę więcej przestrzeni – większy promień zgięcia. Ponadto, ponieważ te lampy wytwarzają dużo ciepła, trzeba dobrze zaprojektować system chłodzenia. Jeśli końce lampy staną się zbyt gorące, uszczelki mogą przestać funkcjonować. Nie ma znaczenia, jak dobry jest przewód, jeśli uszczelka zawiedzie. Projektowaliśmy je tak, aby były prostym zamiennikiem dla obecnych elementów grzejnych. Skupiliśmy się przede wszystkim na czystości, ponieważ właśnie to jest najważniejsze w takiej sytuacji.