Inleiding We hebben deze lamp voor het drogen van waferontwerpen ontwikkeld om het op te nemen tegen de grote Amerikaanse en Japanse merken. Hij...

Op de productielijn kan een droogapparaat uitvallen doordat de gloeilamp kapotgaat. Dan zie je alleen nog maar watermerken op de 300 mm grote chips....

Op de productielijn kan een wafer die net uit het eindproces komt, geen enkele hoeveelheid watermerken tolereren, zelfs niet één micrometer....